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李东亮

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：北京航空航天大学物理科学与核能工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇修饰
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇AG
  • 1篇ITO
  • 1篇ITO薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇北京航空航天...

作者

  • 1篇王聪
  • 1篇王文文
  • 1篇吴东奇
  • 1篇马丁
  • 1篇李东亮

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
金属Ag微网格修饰ITO薄膜的制备及光电性能被引量：2
2012年
利用聚苯乙烯(PS)微球模板技术和直流磁控溅射技术在ITO(In2O3∶Sn)薄膜表面进行Ag的微网格修饰,得到具有良好周期性的表面结构。研究了PS微球直径和直流磁控溅射Ag时间对ITO薄膜表面形貌、可见光区透过率、漫反射率和导电性能的影响。实验及分析证明,对ITO表面进行Ag微网格修饰,当微球直径为2μm,溅射时间为30s时,最大可提高薄膜的导电性能19.5%,其漫反射性能可提高200%,同时在可见光区透过率的降低控制在10%以下,这将有助于提高ITO薄膜作为太阳能电池透明电极的陷光性能。
吴东奇王文文马丁李东亮王聪
关键词：ITO薄膜直流磁控溅射
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