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吴小燕

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇阵列
  • 2篇晶圆
  • 2篇卡件
  • 2篇滑座
  • 2篇夹持
  • 2篇夹具
  • 1篇单片
  • 1篇单片机
  • 1篇单片机控制

机构

  • 3篇中国电子科技...

作者

  • 3篇吴小燕
  • 2篇熊化兵
  • 2篇李金龙
  • 2篇李双江
  • 2篇尹超
  • 1篇欧昌银
  • 1篇柏正香

传媒

  • 1篇微电子学

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2021
  • 1篇2006
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
多探针自动测试台的技术改造被引量：1
2006年
介绍了将测试75 mm圆片的多探针自动测试台改造为测试100 mm圆片的多探针测试台。在原设备的基础上,重新设计加工X轴和Y轴的丝杆和导轨及承片台,控制由TP801单板机改为80C32单片机,数码管显示改为彩色液晶屏显示。改造后的探针测试台只需一次对片就能测完100 mm圆片,且控制稳定,功能更加完善,使用更为方便。
吴小燕柏正香欧昌银
关键词：单片机控制
一种可固定任意异形晶圆的旋转清洗夹具
本发明涉及夹具工装领域，具体公开了一种可固定任意异形晶圆的旋转清洗夹具，包括底座和若干滑座，所述底座上设有第一轨道和第二轨道，所述第二轨道与第一轨道垂直且设置在第一轨道的两侧，所述底座上中心阵列安装有若干用于支撑晶圆的支...
李金龙熊化兵江凯张文峰李双江尹超吴小燕
文献传递
一种可固定任意异形晶圆的旋转清洗夹具
本发明涉及夹具工装领域，具体公开了一种可固定任意异形晶圆的旋转清洗夹具，包括底座和若干滑座，所述底座上设有第一轨道和第二轨道，所述第二轨道与第一轨道垂直且设置在第一轨道的两侧，所述底座上中心阵列安装有若干用于支撑晶圆的支...
李金龙熊化兵江凯张文峰李双江尹超吴小燕
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