郑晓雯
- 作品数：12 被引量：14H指数：2
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程化学工程更多>>
- 辐射制冷滤光片及其制备方法和应用
- 本发明公开了一种辐射制冷滤光片，包括基板，所述的基板单面抛光，所述基板的毛面上设有金属反射层，所述基板的抛光面上依次设有中间层和顶层；所述中间层包括交替设置的A层和B层；每层A层、B层的厚度为50～400nm；所述A层的...
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- 一种日间辐射制冷器及其制备方法
- 本发明公开了一种日间辐射制冷器及其制备方法，日间辐射制冷器包括基板，所述基板的底面上设有反射层，所述基板的顶面上依次设有中间层和顶层；所述中间层包括交替设置的低折射率层和高折射率层；所述低折射率层的材料为二氧化钛或氧化铝...
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- 文献传递
- 一种偏振滤光元件及其制备方法
- 本发明公开了一种偏振滤光元件，包括基底，所述基底上依次设有介质膜层和金属线栅；所述介质膜层由高、低折射率材料层交替设置而成；所述的高折射率材料层的材料选自二氧化钛、二氧化铪、五氧化二钽、氮化硅、硫化锌；所述的低折射率材料...
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- 一种偏振滤光元件及其制备方法
- 本发明公开了一种偏振滤光元件，包括基底，所述基底上依次设有介质膜层和金属线栅；所述介质膜层由高、低折射率材料层交替设置而成；所述的高折射率材料层的材料选自二氧化钛、二氧化铪、五氧化二钽、氮化硅、硫化锌；所述的低折射率材料...
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- 文献传递
- 一种基于多孔氧化铝的入射角度不敏感的彩色滤光片及其制备方法
- 本发明公开了一种基于多孔氧化铝的角度不敏感彩色滤光片，包括基底，固定在所述基底上，且孔规则均匀分布的多孔氧化铝；沉积在所述多孔氧化铝上的金属层，沉积在氧化铝表面的金属厚度大于沉积在孔内的金属厚度，且孔内金属的厚度小于孔的...
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- 文献传递
- 1064nm分振幅光偏振测量仪的多层介质分束镜的设计和制备被引量：1
- 2017年
- 设计和制备了一种用于1064nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩阵参数,得到分束镜的最优参数,并用离子束溅射沉积方法制备了分束镜样品及其背面的减反射膜,其实测结果与设计值吻合较好。与单层薄膜分束镜相比,多层介质薄膜分束镜不受基板、膜层材料,以及入射角和工作波长的限制,具有更广泛的应用。
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- 关键词：相位延迟多层介质膜
- 离子束溅射制备Nb_2O_5、Ta_2O_5和SiO_2薄膜的光学、力学特性和微结构被引量：10
- 2017年
- 研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb_2O_5、Ta_2O_5和SiO_2薄膜的光学特性、力学特性以及薄膜微结构,分析了辅助离子源电压对薄膜特性的影响,并将电子束蒸发、离子辅助沉积和IBS制备的薄膜进行了对比。研究结果表明,IBS制备的薄膜具有更好的光学特性和微结构,同时具有较大的压应力、硬度和杨氏模量;辅助离子源可以改善薄膜的光学特性,调节薄膜应力和减小薄膜表面粗糙度,但对硬度和杨氏模量的影响相对较小。在不同的辅助离子源电压下,IBS制备的Nb_2O_5应力为-152^-281 MPa,Ta_2O_5的应力为-299^-373 MPa,SiO_2的应力为-427^-577 MPa;在合适的工艺参数下,消光系数可小于10^(-4);薄膜表面平整,均方根粗糙度小于0.2nm。
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- 关键词：机械特性微结构离子束溅射
- 一种基于阵列滤光片的微型光谱仪
- 本发明公开了一种基于阵列滤光片的微型光谱仪及其制备方法，所述微型光谱仪包括扩束透镜、准直透镜、阵列滤光片、探测器和上位机，所述待测光束经依次经过扩束透镜扩束、准直透镜准直后照射于阵列滤光片，经阵列滤光片调制后的透射光被探...
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- 文献传递
- 基于原子层沉积技术的石英管表面减反射膜的制备被引量：3
- 2019年
- 采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响。以单波长减反射膜为研究对象,实验测试的反射光谱与仿真结果一致,石英管表面最低反射率可降至0.17%。忽略夹具影响,石英管外壁与内壁的减反射薄膜的非均匀性基本一致,在±1.69%范围内,内外壁表面减反射薄膜的厚度和中心波长相同,且石英管尺寸对内外壁薄膜均匀性无明显影响。利用ALD技术可在大曲率元件的内外表面沉积厚度偏差小且均匀性分布相似的减反射薄膜。
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- 关键词：表面光学原子层沉积石英管减反射膜均匀性
- 一种基于多孔氧化铝的入射角度不敏感的彩色滤光片及其制备方法
- 本发明公开了一种基于多孔氧化铝的角度不敏感彩色滤光片，包括基底，固定在所述基底上，且孔规则均匀分布的多孔氧化铝；沉积在所述多孔氧化铝上的金属层，沉积在氧化铝表面的金属厚度大于沉积在孔内的金属厚度，且孔内金属的厚度小于孔的...
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- 文献传递
