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袁文佳
作品数:
21
被引量:31
H指数:3
供职机构:
浙江大学
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发文基金:
国家自然科学基金
浙江省自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
一般工业技术
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合作作者
沈伟东
浙江大学光电信息工程学系现代光...
章岳光
浙江大学光电信息工程学系现代光...
杨陈楹
浙江大学
郑晓雯
浙江大学
王震
浙江大学
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原子层沉积
机构
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作者
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袁文佳
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章岳光
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沈伟东
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一种偏振滤光元件及其制备方法
本发明公开了一种偏振滤光元件,包括基底,所述基底上依次设有介质膜层和金属线栅;所述介质膜层由高、低折射率材料层交替设置而成;所述的高折射率材料层的材料选自二氧化钛、二氧化铪、五氧化二钽、氮化硅、硫化锌;所述的低折射率材料...
沈伟东
郑晓雯
杨陈楹
沐雯
袁华新
王震
袁文佳
章岳光
离子束溅射制备光学薄膜的研究
离子束溅射以其出色的工艺稳定性、制备的薄膜性能优越等优点,已成为制备高性能光学薄膜的重要手段。本课题在实验室自制的设备上对离子束溅射的工艺进行了系统研究,对在不同工艺条件下制备的Nb205、Ta205和Si02薄膜的特性...
袁文佳
关键词:
光学薄膜
离子束溅射
啁啾镜
文献传递
一种基于多孔氧化铝的入射角度不敏感的彩色滤光片及其制备方法
本发明公开了一种基于多孔氧化铝的角度不敏感彩色滤光片,包括基底,固定在所述基底上,且孔规则均匀分布的多孔氧化铝;沉积在所述多孔氧化铝上的金属层,沉积在氧化铝表面的金属厚度大于沉积在孔内的金属厚度,且孔内金属的厚度小于孔的...
沈伟东
王震
杨陈楹
沐雯
章岳光
郑晓雯
袁华新
袁文佳
文献传递
一种漫反射互补色滤光片
本发明提供一种漫反射互补色滤光片,滤光片包括由上至下依次设置的彩色滤光膜、透明基板和漫反射单元。该滤光片在镜面反射的同时,不会对透射的光进行吸收来实现滤光,而是将透射的光通过漫反射单元均匀地漫反射回入射介质。通过对彩色滤...
沈伟东
陈潇
杨陈楹
王雨思
刘雨洁
袁文佳
章岳光
辐射制冷滤光片及其制备方法和应用
本发明公开了一种辐射制冷滤光片,包括基板,所述的基板单面抛光,所述基板的毛面上设有金属反射层,所述基板的抛光面上依次设有中间层和顶层;所述中间层包括交替设置的A层和B层;每层A层、B层的厚度为50~400nm;所述A层的...
沈伟东
袁华新
杨陈楹
郑晓雯
沐雯
王震
袁文佳
章岳光
一种日间辐射制冷器及其制备方法
本发明公开了一种日间辐射制冷器及其制备方法,日间辐射制冷器包括基板,所述基板的底面上设有反射层,所述基板的顶面上依次设有中间层和顶层;所述中间层包括交替设置的低折射率层和高折射率层;所述低折射率层的材料为二氧化钛或氧化铝...
沈伟东
袁华新
杨陈楹
郑晓雯
沐雯
王震
袁文佳
章岳光
文献传递
一种偏振滤光元件及其制备方法
本发明公开了一种偏振滤光元件,包括基底,所述基底上依次设有介质膜层和金属线栅;所述介质膜层由高、低折射率材料层交替设置而成;所述的高折射率材料层的材料选自二氧化钛、二氧化铪、五氧化二钽、氮化硅、硫化锌;所述的低折射率材料...
沈伟东
郑晓雯
杨陈楹
沐雯
袁华新
王震
袁文佳
章岳光
文献传递
辐射制冷滤光片及其制备方法和应用
本发明公开了一种辐射制冷滤光片,包括基板,所述的基板单面抛光,所述基板的毛面上设有金属反射层,所述基板的抛光面上依次设有中间层和顶层;所述中间层包括交替设置的A层和B层;每层A层、B层的厚度为50~400nm;所述A层的...
沈伟东
袁华新
杨陈楹
郑晓雯
沐雯
王震
袁文佳
章岳光
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一种日间辐射制冷器及其制备方法
本发明公开了一种日间辐射制冷器及其制备方法,日间辐射制冷器包括基板,所述基板的底面上设有反射层,所述基板的顶面上依次设有中间层和顶层;所述中间层包括交替设置的低折射率层和高折射率层;所述低折射率层的材料为二氧化钛或氧化铝...
沈伟东
袁华新
杨陈楹
郑晓雯
沐雯
王震
袁文佳
章岳光
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原子层沉积制备铱薄膜的特性研究
被引量:2
2014年
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手段对不同厚度薄膜的微结构、表面形貌和光学性能进行了研究。结果表明,原子层沉积制备的Ir薄膜中元素纯度较高(大于95%),表面粗糙度低,并呈现多晶纳米颗粒。同时,Ir薄膜在紫外波段表现出较好的光学特性,可以用于制作Ir金属紫外光栅等光学器件。
叶志杰
沈伟东
章岳光
张兴
袁文佳
李旸晖
刘旭
关键词:
原子层沉积
光学特性
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