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贾勇
作品数:
3
被引量:14
H指数:1
供职机构:
京东方科技集团股份有限公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
薛建设
京东方科技集团股份有限公司
刘翔
京东方科技集团股份有限公司
周伟峰
京东方科技集团股份有限公司
曹占峰
京东方科技集团股份有限公司
刘翔
京东方科技集团股份有限公司
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金属氧化物IGZO薄膜晶体管的最新研究进展
被引量:14
2010年
最近几年,金属氧化物IGZO薄膜晶体管成为研究热点,具有高迁移率、稳定性好、制作工艺简单等优点,备受人们关注。文章综述了制作金属氧化物IGZO晶体管的结构及其优缺点,总结了影响金属氧化物IGZO薄膜晶体管性能的因素,并提出了制作高性能金属氧化物IGZO薄膜晶体管的方法。
刘翔
薛建设
贾勇
周伟峰
肖静
曹占峰
关键词:
薄膜晶体管
氧化物
TFT阵列基板的制造方法、TFT阵列基板及显示器件
本发明提供一种TFT阵列基板的制造方法、TFT阵列基板及显示器件,该制造方法包括:步骤1、在基板上沉积栅金属层,在栅金属层上通过光刻工艺形成栅电极和栅极扫描线;步骤2、在经过步骤1处理的基板上,依次沉积栅极绝缘层和半导体...
刘翔
贾勇
薛建设
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TFT阵列基板的制造方法、TFT阵列基板及显示器件
本发明提供一种TFT阵列基板的制造方法、TFT阵列基板及显示器件,该制造方法包括:步骤1、在基板上沉积栅金属层,在栅金属层上通过光刻工艺形成栅电极和栅极扫描线;步骤2、在经过步骤1处理的基板上,依次沉积栅极绝缘层和半导体...
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