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祁雪

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：东南大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇阳极键合
  • 2篇键合
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇单片
  • 1篇单片集成
  • 1篇电路
  • 1篇电路保护
  • 1篇阳极
  • 1篇温度
  • 1篇温度传感器
  • 1篇集成电路
  • 1篇键合工艺
  • 1篇封装
  • 1篇封装技术
  • 1篇CMOS带隙
  • 1篇CMOS电路
  • 1篇传感器电路

机构

  • 3篇东南大学

作者

  • 3篇祁雪
  • 2篇张会珍
  • 2篇樊路加
  • 2篇秦明
  • 2篇黄庆安

传媒

  • 1篇电子器件
  • 1篇第九届全国敏...

年份

  • 1篇2006
  • 2篇2005
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
单片集成传感器中的阳极键合封装技术
本文分析了阳极键合工艺的原理及其工艺条件对CMOS电路的影响,并通过理论分析和实验研究了单片集成MEMS中的两种阳极键合方法:对于玻璃在硅片上方的键合方式,通过在电路部分上方玻璃上腐蚀一定深度的腔及用氮化硅层保护电路可以...
祁雪黄庆安秦明张会珍樊路加
关键词：单片集成传感器阳极键合封装电路保护
文献传递
单片集成MEMS中的阳极键合工艺被引量：1
2005年
分析了阳极键合工艺的原理及其工艺条件对CMOS电路的影响,并通过理论分析和实验研究了单片集成MEMS中的两种阳极键合方法:对于玻璃在硅片上方的键合方式,通过在电路部分上方玻璃上腐蚀一定深度的腔及用氮化硅层保护电路可以在很大程度上减轻阳极键合工艺的影响;而玻璃在硅片下方的键合方式,硅片上的电路几乎不受阳极键合工艺的影响,两种方法各有优缺点。
祁雪黄庆安秦明张会珍樊路加
关键词：阳极键合
CMOS带隙温度传感器电路的研究
在工农业生产和科学研究过程中，温度是需要测量和控制的一个重要参数，因此，在各种传感器中，温度传感器是应用最广泛的一种。而其中集成电路温度传感器与传统类型温度传感器相比，具有灵敏度高、线性好、体积小、功耗低、易于集成等优点...
祁雪
关键词：温度传感器集成电路CMOS电路
文献传递
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