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何向同

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文基金：安徽省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇误差分析
  • 2篇系统误差分析
  • 2篇相移
  • 2篇差分
  • 1篇平面度
  • 1篇平面度测量
  • 1篇微机电系统
  • 1篇相移干涉
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇变形镜
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇中国科学技术...
  • 1篇江西省电力科...

作者

  • 2篇何向同
  • 1篇李保庆
  • 1篇马剑强
  • 1篇许晓慧
  • 1篇黄文浩
  • 1篇张晋弘

传媒

  • 1篇现代制造工程

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
采用相移干涉原理的平面度测量系统误差分析与校正被引量：3
2010年
相移干涉法具有非接触、快速和高精度等优点,采用实验室组建的相移干涉系统进行平面度测量时,会产生280nm左右的测量误差。通过对系统误差的分析,发现由扩束器产生的波像差是测量误差的主要来源。为了校正该测量误差,采用Zernike多项式拟合波前像差,然后在平面度测量时扣除该数值拟合结果。实验结果表明,这种误差校正方法可以使λ/4平面反射镜的测量结果从误差校正前的320nm左右减小到120nm左右。
何向同李保庆许晓慧马剑强张晋弘黄文浩禇家如
关键词：平面度误差分析
基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统误差分析与校正
微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS)技术的发展使得对先进测试技术与装置的研制的需求日益迫切，MEMS静动态特性测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。传统的测量技术...
何向同
关键词：相移干涉MEMS微机电系统变形镜
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