黄春霞
- 作品数：10 被引量：11H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 晶圆预对准精确定位算法被引量：7
- 2007年
- 针对IC制造工艺中传统的晶圆预对准控制系统预对准精度不高和占用空间较大的不足,提出了一种采用高精度激光位移传感器和低成本的透射式激光传感器的新型晶圆预对准系统,并结合该系统的特点提出了相应的晶圆预对准精确对位算法,而且进行了晶圆预对准重复性精度检测和实验验证.该系统用两种传感器数据融合的方式来检测晶圆的边缘,用质点系重心法确定晶圆形心和缺口位置,最终实现了微米级的晶圆预对准.该系统提高了对准算法的精度,减小了预对准台占用的实际空间,降低了成本.实验结果验证了该系统的有效性.
- 黄春霞曹其新刘仁强
- 晶圆对心转台亚微米级径跳误差补偿方法被引量：4
- 2008年
- 为了消除转台径跳误差对晶圆预对准台重复性定位精度的影响,提出径跳误差的在线检测与补偿方法。转台上方并与之一起旋转的心轴作为转台径跳的检测元件,电涡流传感器测量心轴径向距离,其测量值由固定误差和径跳误差组成,借助集合平均法或者转台径跳特性,离线求解固定误差,据此在线工作时从电涡流传感器数据中分离出径跳误差。利用该误差对激光位移传感器检测的晶圆边缘数据进行径跳误差补偿,分析误差特性,据此简化补偿算法。试验证明,径跳误差补偿方法的使用提高了系统的预对准精度,并最终使系统达到了微米级的定位精度要求。
- 黄春霞曹其新付庄冷春涛
- 关键词：电涡流传感器误差补偿
- 基于多传感器数据融合的硅片预定位系统
- 一种半导体光刻技术领域的基于多传感器数据融合的硅片预定位系统。本发明中，传感器模块将检测到的硅片信息连接到信号调理模块，信号调理模块对硅片信息进行调理，调理后的信号连接到数据采集模块，数据采集模块将信号调理模块调理后的信...
- 曹其新黄春霞刘仁强王美玲
- 文献传递
- 智能帮扶式助行机器人的自主跟踪与导航系统
- 本发明涉及一种机器人技术领域的智能帮扶式助行机器人的自主跟踪与导航系统，包括传感器信号采集处理模块、看门狗智能体预诊断模块、网络信息处理模块、运动控制模块。传感器信号采集处理模块采集传感器信号作光电转换、模数转换处理，转...
- 樊征曹其新张蕾黄春霞罗伟航
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- 智能帮扶式助行机器人的自主跟踪与导航系统
- 本发明涉及一种机器人技术领域的智能帮扶式助行机器人的自主跟踪与导航系统，包括传感器信号采集处理模块、看门狗智能体预诊断模块、网络信息处理模块、运动控制模块。传感器信号采集处理模块采集传感器信号作光电转换、模数转换处理，转...
- 樊征曹其新张蕾黄春霞罗伟航
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- 助行机器人智能控制器
- 本发明涉及一种机器人技术领域的助行机器人智能控制器，本发明包括：嵌入式中央控制模块、嵌入式运动控制模块、GPS定位模块、无线网络模块、液晶触摸屏人机交互模块、激光扫描模块、生命健康传感器模块、电源模块，嵌入式中央控制模块...
- 栾楠曹其新黄春霞董德礼张蕾
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- 面向助行机器人的Web监控系统
- 一种Web监控领域的面向助行机器人的Web监控系统，包括GPS定位模块、GPRS无线通讯模块、Web服务器、SQL Server数据库、WebGIS服务器、地图数据库、短信服务中心。GPS定位模块获取助行机器人的经纬度信...
- 张蕾曹其新黄春霞
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- 基于多传感器数据融合的硅片预定位系统
- 一种半导体光刻技术领域的基于多传感器数据融合的硅片预定位系统。本发明中，传感器模块将检测到的硅片信息连接到信号调理模块，信号调理模块对硅片信息进行调理，调理后的信号连接到数据采集模块，数据采集模块将信号调理模块调理后的信...
- 曹其新黄春霞刘仁强王美玲
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- 晶圆高精度检测与预对准技术的研究
- 步进扫描投影光刻机，当芯片光刻特征线宽从微米级发展到纳米级时，对各个分系统的要求到了非常苛刻的地步，使原来近乎独立的晶圆传输系统直接参与到整机中来，它的传输结果直接影响整机精度和生产效率。对于100nm线宽的光刻机，要求...
- 黄春霞
- 关键词：边缘检测误差补偿
- 文献传递
- 助行机器人智能控制器
- 本发明涉及一种机器人技术领域的助行机器人智能控制器，本发明包括：嵌入式中央控制模块、嵌入式运动控制模块、GPS定位模块、无线网络模块、液晶触摸屏人机交互模块、激光扫描模块、生命健康传感器模块、电源模块，嵌入式中央控制模块...
- 栾楠曹其新黄春霞董德礼张蕾
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