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胡红梅
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华东师范大学信息科学技术学院电子工程系
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发文基金:
上海市青年科技启明星计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘赟
华东师范大学信息科学技术学院电...
朱荣锦
华东师范大学信息科学技术学院电...
沈迪
华东师范大学信息科学技术学院电...
石艳玲
华东师范大学信息科学技术学院电...
徐钰
华东师范大学信息科学技术学院电...
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胡红梅
传媒
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固体电子学研...
年份
1篇
2007
共
1
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Si/SiO_2系统电荷对高阻硅基CPW传输损耗的影响
被引量:1
2007年
通过高频C-V测试得到实验制备的共平面波导(CPW)下方的Si/SiO2系统电荷主要表现为正电荷,其密度约为4.8×1010/cm2。三种不同衬底上50Ω共平面波导分别为直接制备于高阻硅上、高阻硅氧化层上、去除信号线与地线间的高阻硅氧化层上。20GHz时,测得上述三种CPW的微波传输损耗分别为-0.88dB、-2.50dB及-1.06dB,因此去除线间氧化层使得传输线损耗降低了1.44dB。此外还测试了高阻硅氧化层和除去线间氧化层的高阻硅氧化层上的两种CPW的传输损耗随外加偏压的变化。
徐钰
石艳玲
沈迪
胡红梅
忻佩胜
朱荣锦
刘赟
蒋菱
关键词:
共平面波导
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