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硅基共平面波导的设计实现及射频性能分析: 随着军用和民用通讯的发展，急需大量高集成度、低成本、低功耗且能与信号处理电路集成在一起的平面射频/微波无源器件。在单片集成电路(MMIC)中，随着频率的升高，在低阻硅(ρ=1～20Ω·cm)衬底实现的传输线、电感等元器件...; 徐钰; 关键词：共平面波导微波传输线高阻硅射频微波电路; 文献传递

Si/SiO_2系统电荷对高阻硅基CPW传输损耗的影响被引量：1: 2007年; 通过高频C-V测试得到实验制备的共平面波导(CPW)下方的Si/SiO2系统电荷主要表现为正电荷,其密度约为4.8×1010/cm2。三种不同衬底上50Ω共平面波导分别为直接制备于高阻硅上、高阻硅氧化层上、去除信号线与地线间的高阻硅氧化层上。20GHz时,测得上述三种CPW的微波传输损耗分别为-0.88dB、-2.50dB及-1.06dB,因此去除线间氧化层使得传输线损耗降低了1.44dB。此外还测试了高阻硅氧化层和除去线间氧化层的高阻硅氧化层上的两种CPW的传输损耗随外加偏压的变化。; 徐钰石艳玲沈迪胡红梅忻佩胜朱荣锦刘赟蒋菱; 关键词：共平面波导

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徐钰