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池积光

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇图形化
  • 1篇阻挡层
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微桥结构
  • 1篇牺牲层
  • 1篇金属
  • 1篇金属铝
  • 1篇扩散阻挡层

机构

  • 1篇上海集成电路...

作者

  • 1篇李佳青
  • 1篇袁超
  • 1篇康晓旭
  • 1篇池积光

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微电子机械系统微桥结构及其制造方法
本发明提出微电子机械系统微桥结构及其制造方法，该结构，包括：半导体衬底；金属层，其间隔设置于所述半导体衬底上，形成图形化的凹槽；介质层，设置于所述金属层之间的图形化凹槽中；缓冲层，设置于所述金属层和介质层上；牺牲层，设置...
袁超康晓旭李佳青池积光
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