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钱星

作品数:3 被引量:0H指数:0
供职机构:浙江大学更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇溅射
  • 2篇低粗糙度
  • 2篇金属薄膜
  • 2篇反射镜
  • 2篇高频响
  • 2篇超光滑
  • 2篇超光滑表面
  • 2篇粗糙度
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇温度效应
  • 1篇力学性能
  • 1篇基底
  • 1篇合金
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶合金
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇力学性

机构

  • 3篇浙江大学

作者

  • 3篇钱星
  • 2篇蒋建中
  • 2篇王晓东
  • 2篇曹庆平
  • 2篇刘苏亚

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2015
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
一种具有超低粗糙度的Ni-Nb金属薄膜及其制备方法
本发明公开了一种具有超低粗糙度的Ni-Nb金属薄膜及其制备方法。将Ni、Nb金属原料合成靶材放在多靶磁控溅射镀膜设备的靶位上;衬底采用硅单面抛光片,安装在基片架上,调节距离;腔体抽真空,然后充入氩气,调节腔内气压预溅射;...
蒋建中刘苏亚钱星曹庆平王晓东
非晶合金薄膜力学性能与基底温度效应
1960年Duwez在对Au-Si合金进行研究时意外地发现,在快速冷却的条件下,合金凝固后形成了长程无序的结构,也就是所谓的非晶合金,而在此之前固态金属合金的结构都被认为是有序的。然而,由于形成非晶合金需要的冷却速度很快...
钱星
关键词:力学性能直流磁控溅射
一种具有超低粗糙度的Ni‑Nb金属薄膜及其制备方法
本发明公开了一种具有超低粗糙度的Ni‑Nb金属薄膜及其制备方法。将Ni、Nb金属原料合成靶材放在多靶磁控溅射镀膜设备的靶位上;衬底采用硅单面抛光片,安装在基片架上,调节距离;腔体抽真空,然后充入氩气,调节腔内气压预溅射;...
蒋建中刘苏亚钱星曹庆平王晓东
文献传递
共1页<1>
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