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刘苏亚

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇金属薄膜
  • 3篇溅射
  • 2篇低粗糙度
  • 2篇抛光片
  • 2篇纵向驱动
  • 2篇反射镜
  • 2篇高频响
  • 2篇超光滑
  • 2篇超光滑表面
  • 2篇粗糙度
  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜设备
  • 1篇微弱磁场
  • 1篇晶态
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶态
  • 1篇感器
  • 1篇靶位
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 4篇浙江大学

作者

  • 4篇蒋建中
  • 4篇王晓东
  • 4篇曹庆平
  • 4篇刘苏亚
  • 2篇张冬仙
  • 2篇钱星

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种具有超低粗糙度的Ni-Nb金属薄膜及其制备方法
本发明公开了一种具有超低粗糙度的Ni-Nb金属薄膜及其制备方法。将Ni、Nb金属原料合成靶材放在多靶磁控溅射镀膜设备的靶位上；衬底采用硅单面抛光片，安装在基片架上，调节距离；腔体抽真空，然后充入氩气，调节腔内气压预溅射；...
蒋建中刘苏亚钱星曹庆平王晓东
一种超高灵敏度的Fe-Y-B金属薄膜及其制备方法
本发明公开了一种超高灵敏度的Fe-Y-B金属薄膜及其制备方法。其成分Fe、Y、B分别为67~73？at.％，7～11？at.％，14～20？at.％，为非晶态。制备方法包括：将Fe、Y、B金属原料合成靶材，并置于真空环境...
蒋建中刘苏亚曹庆平王晓东张冬仙
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一种具有超低粗糙度的Ni‑Nb金属薄膜及其制备方法
本发明公开了一种具有超低粗糙度的Ni‑Nb金属薄膜及其制备方法。将Ni、Nb金属原料合成靶材放在多靶磁控溅射镀膜设备的靶位上；衬底采用硅单面抛光片，安装在基片架上，调节距离；腔体抽真空，然后充入氩气，调节腔内气压预溅射；...
蒋建中刘苏亚钱星曹庆平王晓东
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一种超高灵敏度的Fe-Y-B金属薄膜及其制备方法
本发明公开了一种超高灵敏度的Fe-Y-B金属薄膜及其制备方法。其成分Fe、Y、B分别为67～73at.％，7～11at.％，14～20at.％，为非晶态。制备方法包括：将Fe、Y、B金属原料合成靶材，并置于真空环境内的多...
蒋建中刘苏亚曹庆平王晓东张冬仙
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