宋晓林
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：长春理工大学理学院更多>>
- 发文基金：长春市科技局项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程理学更多>>
- Gd靶激光等离子体光源离带辐射及其等离子体演化的研究被引量：1
- 2016年
- 利用脉冲宽度为10ns,输出波长为1 064nm的Nd∶YAG激光器作用金属Gd以及纳米粒子掺杂的低密度Gd玻璃等两种形式靶所产生等离子体光源的离带辐射进行了研究,发现等离子体所发出的连续辐射是离带辐射的主要成分,光谱分布与温度为5eV的普朗克曲线相匹配。此外,相对于金属Gd靶而言,采用纳米粒子掺杂的低密度Gd玻璃靶可大幅度降低等离子体光源的离带辐射。利用光谱法,对激光作用纳米粒子掺杂的低密度Gd玻璃靶所形成光源的等离子体羽的电子温度和电子密度进行了时空分辨研究。实验结果表明,在打靶结束125ns时,距靶面6mm位置处等离子体的电子温度约为4eV,电子密度约为1.2×1018 cm-3。同时发现在激光打靶结束后等离子体羽的电子温度和电子密度随延时的变化而呈指数下降,在120-250ns时间范围内,两者下降较快,之后其幅度下降缓慢。另一方面,当打靶脉冲结束约200ns时,在距离靶面1-10mm的空间内等离子体的电子温度及密度均经历先上升后下降的变化过程。在距靶材表面6mm位置处,电子温度和电子密度均达到最大值,电子温度约为2.6eV,电子密度为8.5×1017cm-3。
- 宋晓林宋晓伟窦银萍田勇谢卓高勋林景全
- 关键词：极紫外光刻
- Gd靶激光等离子体6.7nm光源的实验研究被引量：3
- 2015年
- 本文对Gd靶激光等离子体极紫外光源进行了实验研究,在6.7 nm附近获得了较强的辐射,并研究了6.7nm附近光辐射随打靶激光功率密度变化的规律以及收集角度对极紫外辐射的影响.同时,对平面Gd靶激光等离子光源的离子碎屑角分布进行了测量,发现从靶面的法线到沿着靶面平行方向上Gd离子数量依次减少.进一步研究结果表明采用0.9 T外加磁场的条件下可取得较好的Gd离子碎屑阻挡效果.
- 窦银萍谢卓宋晓林田勇林景全
- 关键词：极紫外光刻
