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俞林
作品数:
3
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供职机构:
山东大学
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发文基金:
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
戴瑛
山东大学物理学院
刘东红
山东大学物理学院
闫翠霞
山东大学物理学院
杨剑
山东大学物理学院
张智伟
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2篇
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金刚石N型导电研究
2004年
金刚石n型材料是近年来金刚石半导体器件研究的关键因而成为半导体材料领域研究的热点之一.本文通过理论计算对n-型材料研究中存在的磷(P)掺杂材料电子激活能量太高及掺硼p-型金刚石材料出现的导电类型转换现象进行了分析和探讨.
戴瑛
刘东红
闫翠霞
俞林
杨剑
关键词:
金刚石半导体
金刚石N型导电研究
金刚石n型材料是近年来金刚石半导体器件研究的关键因而成为半导体材料领域研究的热点之一.本文通过理论计算对n-型材料研究中存在的磷(P)掺杂材料电子激活能量太高及掺硼p-型金刚石材料出现的导电类型转换现象进行了分析和探讨。
戴瑛
刘东红
闫翠霞
俞林
杨剑
关键词:
金刚石半导体
文献传递
B离子注入引起的金刚石薄膜体积膨胀现象
<正>金刚石半导体器件的实现有赖于金刚石N型或P型导电材料的获得。离子注入是获得金刚石N型或P型导电材料的有效途径之一。然而,离子注入对金刚石的晶格结构有破坏作用,造成金刚石薄膜体积的膨胀。关于合成金刚石薄膜离子注入带来...
闫翠霞
戴瑛
刘东红
俞林
龙闰
张振奎
张智伟
杨可松
郭猛
杨剑
文献传递
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