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侯占民

作品数：4 被引量：24H指数：2
供职机构：中国电子科技集团更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇等离子体刻蚀
  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇漂移
  • 1篇热灵敏度漂移
  • 1篇微加速度计
  • 1篇温度漂移
  • 1篇力传感器
  • 1篇刻蚀
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇硅微加速度计
  • 1篇感器
  • 1篇高温
  • 1篇MEMS
  • 1篇补偿方法
  • 1篇补偿技术

机构

  • 3篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 4篇侯占民
  • 1篇张精华
  • 1篇石婷婷
  • 1篇刘宝伟
  • 1篇盛健
  • 1篇田雷
  • 1篇迟晓珠
  • 1篇崔宏敏
  • 1篇王伟
  • 1篇吴亚林
  • 1篇王金文
  • 1篇姜彤
  • 1篇王世清
  • 1篇杨金梅

传媒

  • 1篇黑龙江大学自...
  • 1篇传感器技术
  • 1篇经济技术协作...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2009
  • 1篇2006
  • 1篇2003
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种高温绝压传感器弹性膜片技术研究被引量：1
2009年
介绍了该高温绝压传感器的原理和特点,设计了传感器关键元件弹性膜片结构,制定了一套弹性膜片的制作工艺,使弹性膜片的加工工艺、热处理工艺有机地结合起来,弹性膜片金相组织和力学性能达到理想状态,解决了该传感器精度的关键技术,研制出一体化传感器在(-50～220)℃工作温度范围精度达到0.6%F.S。
侯占民王金文杨金梅崔宏敏
关键词：高温
高精度电容式过载传感器
2011年
基于电容原理的过载传感器具有体积小、灵敏度高，重复性好、稳定性好的特点，利用软件、硬件补偿技术可以进一步提高此类传感器线性误差和温度性能指标，以使电容式传感器的线性度及温度性能达到很高的指标，进一步满足过载传感器高精度应用场合的需求。
侯占民石婷婷盛健刘宝伟
关键词：补偿技术
单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法被引量：19
2006年
介绍了单晶硅压力传感器温度漂移的机理，阐述了采取串并联电阻网络和有源电路分段等综合补偿方法的补偿原理。实验结果表明：在－45～85℃温区内，补偿后，热零点漂移和热灵敏度漂移从±0．5％FS／℃提高到±0．014％FS／℃。
王世清姜彤侯占民
关键词：传感器热灵敏度漂移
压阻式硅微加速度计的研制被引量：4
2003年
介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素。
张精华田雷迟晓珠王伟侯占民吴亚林
关键词：压阻式硅微加速度计等离子体刻蚀MEMS
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