王伟
- 作品数：9 被引量：36H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器被引量：2
- 2011年
- 介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品。经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa。
- 王伟栾剑史鑫陈信琦
- 关键词：MEMS光学检测声传感器灵敏度
- 基于光楔的F-P干涉型压力传感器光学解调技术研究
- 2014年
- 针对法布里—珀罗干涉型压力传感器进行光学解调技术研究,采用以双折射光楔为核心的白光偏振干涉系统对传感干涉系统进行解调,利用不同尺寸光楔设计对比实验并进行加压检测,确定传感系统与解调系统匹配的具体设计方法。
- 曹永海王伟李秀茹王世宁桂永雷
- 关键词：白光
- 抗高过载加速度计微结构的设计与分析被引量：4
- 2009年
- 介绍一种抗高过载加速度计的结构,对其惯性结构、过载保护结构及气体阻尼结构进行了详细分析,其中惯性结构采用有较好过振保护的双端固支梁,其截面设计成一种具有应力集中特点的凹形截面。用有限元分析对微结构进行模拟计算,并通过试验验证。验证结果表明,该加速度计在经过20000gn冲击后,在±50gn的量程内非线性达到1%,灵敏度达到1mV/g。
- 王伟陈丽洁贲庆玲邵宪辉陈昕
- 关键词：加速度计过载阻尼
- 压阻式加速度计双端固支梁结构的设计与分析被引量：5
- 2003年
- 介绍一种压阻式加速度计双端固支梁的结构,并建立其三维实体有限元模型。分析了在惯性载荷作用下的弹性梁的应力及应变,并对弹性结构进行了模态分析。讨论影响灵敏度、固有频率等主要指标的因素,用有限元方法进行分析、模拟,以达到优化设计的目的。
- 王伟郝雁
- 关键词：有限元分析应力
- 压阻式硅微加速度计的研制被引量：4
- 2003年
- 介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素。
- 张精华田雷迟晓珠王伟侯占民吴亚林
- 关键词：压阻式硅微加速度计等离子体刻蚀MEMS
- 基于原子扩散的蓝宝石芯片键合技术研究被引量：3
- 2016年
- 本文基于原子扩散理论模型,试图介绍一种蓝宝石芯片直接键合技术,给出一定扩散距离下键合温度与键合时间的关系;开展了蓝宝石芯片键合的试验研究;初步制作了键合样品。经测试,键合强度达到0.5 MPa,验证了蓝宝石芯片直接键合的可行性。
- 吴亚林王世宁曹永海王伟史鑫
- 关键词：原子扩散直接键合
- 基于CCD的航空相机平板玻璃厚度测量系统被引量：14
- 2003年
- 提出了一种利用线阵CCD传感器作为接收装置 ,以 82 5 3可编程芯片实现自动测量并实时显示测量结果的平板玻璃厚度测量系统 ;论述了系统的工作原理和软硬件的实现 ,分析了系统的测量误差 ;证明了系统的可行性和先进性 ,系统具有较高的实用价值和应用前景。
- 赵育良王伟
- 关键词：CCD航空相机平板玻璃厚度测量折射率硬件
- 高温压力控制器的设计被引量：3
- 2004年
- 介绍了机械式高温压力控制器的设计方法;阐述了它的工作原理、结构特点和主要部件的设计与计算。同时,对宽温区压力控制器压力设定点的温度漂移进行了补偿和实验验证。比较了电子式和机械式压力控制器各自的优缺点,并提出了选择设计方案的原则。该压力控制器的压力设定点为0.3MPa;误差为±0.04MPa(全温区);工作温度为-55～150℃。实验表明:该高温压力控制器体积小、耐恶劣环境、可靠性高,满足使用要求。
- 卢晓敏董宇红王伟李涛
- 关键词：压力控制器压力开关高温
- 一种基于感声波纹结构的光学式声传感器被引量：3
- 2014年
- 设计了一种基于硅MEMS敏感结构的光学式声传感器,其光学调制原理采用强度调制型,微敏感结构采用具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片。对光纤与微敏感结构耦合技术进行实验研究,优化光学参数,并制作传感器样品。经实验测试,灵敏度达80mV/Pa。
- 于洪峰王伟王世宁史鑫曹永海桂永雷
- 关键词：微机电系统光学检测声传感器灵敏度
