徐文东
- 作品数：28 被引量：102H指数：7
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 分层介质中p偏振光透射系数的修正
- 2010年
- 通过理论计算获得了全反射时分层介质中p偏振光的透射系数计算公式,并采用时域有限差分(FDTD)方法进行了验证。计算所获得的公式与传统的采用分层介质的特性矩阵法计算获得的相似,不同之处在于当发生全反射时,公式多了一个全反射修正因子。此外,采用FDTD模拟的两层介质的全反射结构及表面等离子体共振(SPR)膜系结构的结果与修正后的公式符合得很好。该修正公式是对分层介质中电磁波传播的完善,是对一些有影响力的文献关于场增强因子的修正,它对SPR及倏逝场的研究具有参考价值。
- 洪小刚徐文东赵成强唐晓东
- 关键词：多层介质全反射透射系数表面等离子体共振
- 高准确度多功能激光直写装置
- 2009年
- 采用高数值孔径物镜和高准确度纳米平台搭建了一台激光直写装置,可以在光敏感薄膜材料上进行打点、刻画矢量和标量图形等多种操作,其最小特征尺寸小于300nm,重复性5nm.在刻写前准确标定刻写激光功率,刻写过程中采用象散法精确自动聚焦,刻写完成后采用两种不同波长的激光束探测样品的透过率和反射率的细微变化,最终实现了高准确度亚微米图形的刻写和检测.
- 范永涛徐文东刘前郭传飞曹四海
- 关键词：激光直写微纳加工自动聚焦
- 机器视觉应用中物体离焦及过厚对测量精度的影响被引量：10
- 2015年
- 机器视觉技术在工业测量中具有广泛应用,实现高精度的机器视觉测量对精密加工、制造具有重要意义。针对机器视觉应用中待测物体偏离焦面及在纵深方向过厚导致测量结果出现误差的问题进行了研究。重点讨论了系统中镜头远心度引起的平行性误差及其对离焦物体测量结果的影响。实验结果表明,在物体偏离最佳成像面而引入的误差中,平行性误差占到90%左右,因此可通过后期对平行性误差进行补偿以较大程度地提高系统测量精度。此外,针对待测物体过厚导致边缘模糊这一问题采用多种边缘检测算法进行了分析。结果表明在一定范围内,物体纵深方向越厚,边缘检测误差越大。在这一结果的基础上,对算法进行改进,提出一种基于图像灰度曲线的补偿方法,使测量误差由超过20μm降至10μm以下。
- 来先家徐文东赵成强肖阳
- 关键词：机器视觉厚度边缘检测
- 数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻被引量：11
- 2008年
- 采用有损耗介质和色散介质的二维时域有限差分方法,数值模拟了以光波长514.5 nm的p偏振基模高斯光束为入射光源,激发Kretschmann型表面等离子体共振,并通过探针的局域场增强效应实现纳米光刻的新方法——探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻.分别就探针与记录层的间距以及探针针尖大小,模拟分析了不同情况下探针的局域场增强效应和记录层表面的相对电场强度振幅分布.结果表明,探针工作在接触模式时,探针的局域场增强效应最明显,记录层表面的相对电场强度振幅的对比度最大;当探针针尖距记录层5 nm时,针尖下方记录层表面的相对电场强度振幅大于光刻临界值的分布宽度与针尖尺寸相近.
- 洪小刚徐文东李小刚赵成强唐晓东
- 关键词：纳米光刻表面等离子体共振时域有限差分方法
- 基于随机相位板扫描的可重复赝热光源研究被引量：4
- 2013年
- 针对强度关联成像遥感探测中存在的成像速度受到参考臂图像采集速度限制的问题,研究了一种基于随机相位板扫描的可重复赝热光源。通过产生可重复使用的散斑,省去成像过程中参考臂的实时采集。建立了散斑重复性评价函数,并数值模拟分析了使用可重复散斑对关联成像质量的影响,给出了在不影响成像质量的情况下所允许的激光强度抖动和扫描定位精度。实验分析了此可重复赝热光源的性能指标。实验结果表明,在发射速率为4000frames/s时,赝热光源的激光强度抖动及扫描定位精度均满足要求,散斑相关系数可达到0.97以上,成像分辨率可达到衍射极限,证实了此可重复赝热光源的可行性。
- 焦佳赵成强崔丽君徐文东
- 关键词：成像系统相位板
- 基于发光二极管的头戴照明摄录系统
- 2005年
- 编号：0501242 该专利是一种基于发光二极管的头戴照明摄录系统，包括头戴设备和外围设备。
- 高秀敏徐文东顾士欣
- 关键词：发光二极管
- 探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统被引量：7
- 2009年
- 提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统。此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果。系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制。通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性。研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考。
- 赵成强徐文东洪小刚李小刚唐晓东
- 关键词：光刻表面等离子体共振原子力显微镜探针
- 同步摄像照明系统
- 2004年
- 徐文东高秀敏干福熹魏劲松
- 关键词：摄像系统照明系统光源信息处理
- 超分辨近场结构光刻技术被引量：2
- 2003年
- 介绍了一种新的近场光刻技术的基本原理及其在光刻方面的应用研究的最新进展。新技术的基本原理是:光远场照射,通过超分辨掩模产生光刻所需的超过衍射极限的近场光,利用夹在掩模和光刻胶中间的电介质保护层实现了近场光的最佳耦合,减小了线宽并大大提高了光刻速度。这种膜层结构叫超分辨近场结构(Super-RENS),是近年来发展起来的一种新的近场光学技术。
- 张锋王阳徐文东
- 关键词：光刻技术超分辨线宽远场结构光衍射极限
- 随动压力分布下的非球面抛光去除函数被引量：3
- 2016年
- 考虑去除函数对数控小工具抛光光学元件精度的影响,提出了如何根据需要加工的非球面参数以及抛光盘参数得到最优去除函数的方法。由于计算非球面上去除函数的核心是准确获得抛光盘与镜面间的动态压力分布,本文提出利用有限元法仿真抛光盘与非球面间的压力分布,并结合经典Preston方程与行星运动模型来得到非球面不同位置处的去除函数。基于随动压力分布模型,分析了沥青盘抛光非球面时在不同抛光位置处去除函数的变化。在曲率半径为1 000mm的球面上进行了去除函数验证实验。结果表明:基于本文理论得到的去除函线型更接近实际情况,皮尔逊系数达到了0.977。本文提出的方法可以方便地调整加工位置来得到相应的压力分布,实现去除函数的优化,对提高加工效率与精度有实际指导意义。
- 李徐钰魏朝阳徐文东邵建达
- 关键词：有限元法
