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赵俊

作品数：12 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海应用物理研究所更多>>
发文基金：国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程核科学技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇机械工程
  • 3篇理学
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇核科学技术

主题

  • 6篇光刻
  • 4篇光电
  • 3篇闪烁体
  • 3篇观察孔
  • 3篇光电二极管
  • 3篇光栅
  • 3篇二极管
  • 3篇分辨率
  • 3篇成像分辨率
  • 2篇掩膜
  • 2篇杂散光
  • 2篇时间分辨率
  • 2篇图像
  • 2篇图像恢复
  • 2篇能量分辨率
  • 2篇紫外光刻
  • 2篇狭缝
  • 2篇铝膜
  • 2篇卷积
  • 2篇极紫外

机构

  • 12篇中国科学院上...
  • 1篇同济大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 12篇赵俊
  • 11篇邰仁忠
  • 11篇吴衍青
  • 8篇薛超凡
  • 8篇王连升
  • 7篇杨树敏
  • 3篇陈媚
  • 3篇于怀娜
  • 2篇刘海岗
  • 2篇郑丽芳
  • 2篇刘平
  • 2篇胡纯
  • 2篇荣丽媛
  • 1篇高兴宇
  • 1篇杨铁莹
  • 1篇杜国浩
  • 1篇谢红兰
  • 1篇刘星
  • 1篇李晓龙

传媒

  • 1篇核技术

年份

  • 3篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 4篇2015
  • 1篇2014
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种制备表面增强拉曼光谱基底的方法及其基底
本发明提供一种制备表面增强拉曼光谱基底的方法，包括：提供基片层；在基片层上通过蒸镀或溅射形成粘附层；在粘附层上通过蒸镀或溅射形成金属薄膜层；在金属薄膜层上通过蒸镀或溅射或化学气相沉积或薄膜湿法转移形成绝缘层；在绝缘层上通...
刘星邰仁忠吴衍青杨树敏赵俊王连升薛超凡
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p型SnO薄膜及其p-n结二极管的制备方法
本发明提供一种p型SnO薄膜的制备方法，以SnO陶瓷靶为靶材，采用射频磁控溅射在石英衬底上原位沉积形成p型SnO薄膜，其中，衬底温度为150-300℃，溅射功率为50-150W，工作气体为Ar气，气压为0.5-2.0Pa...
杨铁莹赵俊李晓龙高兴宇薛超凡吴衍青邰仁忠
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一种同步辐射X射线大面积干涉光刻系统
本发明涉及一种同步辐射X射线大面积干涉光刻系统，其包括：依次排列的波荡器光源、多个反射聚焦镜、掩膜光栅、具有光阑孔的级选光阑、具有观察孔的样品台、铝膜以及CCD探测器。本发明通过在掩膜光栅与样品之间增设级选光阑，并通过C...
薛超凡吴衍青刘海岗杨树敏王连升赵俊邰仁忠
一种原位光通量监测及曝光剂量补偿方法
本发明涉及一种原位光通量监测及曝光剂量补偿方法，该方法通过采用光电二极管在光刻实验开始前对经过出射狭缝进入真空腔体内的主光束的光通量进行测量，并在进行实验曝光时对经过出射狭缝进入真空腔体内的强度与主光束成正比的杂散光的光...
薛超凡胡纯刘平吴衍青王连升杨树敏赵俊郑丽芳邰仁忠
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一种闪烁体探测系统
本发明涉及一种闪烁体探测系统，其包括：闪烁体，其入射面接受X射线的照射，其出射面上设置有光子晶体；光学成像装置，其接收从所述闪烁体转化输出的可见光信号，并输出样品透射成像图；以及与所述光学成像装置连接的GPU工作站，其接...
吴衍青于怀娜陈媚邰仁忠赵俊荣丽媛
一种用于不同平面样品对准的装置
本实用新型提供一种用于不同平面样品对准的装置，包括：竖向设置的支架；上基板和下基板，上基板和下基板在水平方向上平行布置且通过支架连接为框架结构，上基板和下基板上分别设置有上对准十字线与下对准十字线，上对准十字线与下对准十...
赵俊薛超凡吴衍青杨树敏王连升邰仁忠
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一种基于自溯源光栅的极紫外光刻胶质量检测装置和方法
本发明涉及基于自溯源光栅的极紫外光刻胶质量检测装置和方法，方法包括以下步骤：1)利用原子光刻技术制备掩膜光栅；2)获取涂有待测极紫外光刻胶膜层的衬底；3)基于获取的掩膜光栅，对所述衬底进行双光栅干涉，获取待测光刻胶图形；...
赵俊梁兆峰杨树敏薛超凡王连升吴衍青邰仁忠程鑫彬邓晓顾振杰唐朝辉李同保
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一种原位光通量监测及曝光剂量补偿方法
本发明涉及一种原位光通量监测及曝光剂量补偿方法，该方法通过采用光电二极管在光刻实验开始前对经过出射狭缝进入真空腔体内的主光束的光通量进行测量，并在进行实验曝光时对经过出射狭缝进入真空腔体内的强度与主光束成正比的杂散光的光...
薛超凡胡纯刘平吴衍青王连升杨树敏赵俊郑丽芳邰仁忠
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一种闪烁体探测系统
本发明涉及一种闪烁体探测系统，其包括：闪烁体，其入射面接受X射线的照射，其出射面上设置有光子晶体；光学成像装置，其接收从所述闪烁体转化输出的可见光信号，并输出样品透射成像图；以及与所述光学成像装置连接的GPU工作站，其接...
吴衍青于怀娜陈媚邰仁忠赵俊荣丽媛
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一种多功能同步辐射干涉曝光实验平台及实验方法
本发明涉及一种多功能同步辐射干涉曝光实验平台，沿光路走向依次包括同步辐射光源发生装置、第一柱面反射镜、第二柱面反射镜、孔径光阑、用于测量入射光强度的第一光电二极管、待测透射光栅、级选光阑以及透射图像接收装置，在所述级选光...
赵俊梁兆峰杨树敏薛超凡王连升吴衍青邰仁忠
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