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薛超凡

作品数:17 被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海应用物理研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学核科学技术机械工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 13篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 3篇理学
  • 2篇机械工程
  • 2篇核科学技术
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇光刻
  • 4篇电离室
  • 4篇光电
  • 4篇光栅
  • 3篇对置
  • 3篇信号放大
  • 3篇软X射线
  • 3篇微通道板
  • 3篇高真空
  • 3篇观察孔
  • 3篇光电二极管
  • 3篇光源
  • 3篇二极管
  • 2篇虚光源
  • 2篇掩膜
  • 2篇杂散光
  • 2篇平面镜
  • 2篇自由电子
  • 2篇自由电子激光
  • 2篇狭缝

机构

  • 17篇中国科学院上...
  • 2篇同济大学
  • 1篇上海科技大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 17篇薛超凡
  • 15篇邰仁忠
  • 14篇吴衍青
  • 8篇赵俊
  • 7篇王勇
  • 7篇杨树敏
  • 7篇王连升
  • 2篇刘海岗
  • 2篇郑丽芳
  • 2篇刘平
  • 2篇胡纯
  • 1篇薛松
  • 1篇许子健
  • 1篇高兴宇
  • 1篇吴仁智
  • 1篇杨铁莹
  • 1篇刘波
  • 1篇顾牡
  • 1篇刘小林
  • 1篇陈家华

传媒

  • 2篇核技术
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 5篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2011
17 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室
本发明提供一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室,包括密封壳体以及在所述密封壳体中上下平行对置的高压电极板和收集电极板,其特征在于,所述收集电极板呈矩形,并由两个呈直角三角形的微通道板模块拼接而成。本发明通过将收集电...
薛超凡吴衍青王勇邰仁忠
文献传递
一种压强稳定的多级真空差分系统
2017年
上海光源软X射线自由电子激光器光束线主要用于X射线的传输与诊断,为了减少光子吸收,其传输环境须为无窗洁净的超高真空系统。气体通量衰减器和气体探测器是光束线诊断区域的关键设备,二者均需要充入一定量的气体,且工作精度依赖于气体压强的稳定度。文中介绍了一种具有压强反馈调节功能的多级真空差分系统直接过渡至其他超高真空设备,可在2.5 m内实现7个量级以上的差分比。
刘俊男刘俊男吴仁智薛松陈家华
关键词:自由电子激光器光束线
一种光栅单色器的优化方法
本发明涉及一种光栅单色器的优化方法,其包括以下步骤:步骤S0,提供一光源、一前置聚焦镜、一平面镜以及一变线距光栅;步骤S1,使所述光源发出的光线经过所述前置聚焦镜汇聚后入射至所述平面镜,再由所述平面镜反射至所述变线距光栅...
薛超凡吴衍青王勇邰仁忠
文献传递
p型SnO薄膜及其p-n结二极管的制备方法
本发明提供一种p型SnO薄膜的制备方法,以SnO陶瓷靶为靶材,采用射频磁控溅射在石英衬底上原位沉积形成p型SnO薄膜,其中,衬底温度为150-300℃,溅射功率为50-150W,工作气体为Ar气,气压为0.5-2.0Pa...
杨铁莹赵俊李晓龙高兴宇薛超凡吴衍青邰仁忠
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一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室
本实用新型提供一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室,包括密封壳体以及在所述密封壳体中上下平行对置的高压电极板和收集电极板,其特征在于,所述收集电极板呈矩形,并由两个呈直角三角形的微通道板模块拼接而成。本实用新型通过...
薛超凡吴衍青王勇邰仁忠
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一种同步辐射X射线大面积干涉光刻系统
本发明涉及一种同步辐射X射线大面积干涉光刻系统,其包括:依次排列的波荡器光源、多个反射聚焦镜、掩膜光栅、具有光阑孔的级选光阑、具有观察孔的样品台、铝膜以及CCD探测器。本发明通过在掩膜光栅与样品之间增设级选光阑,并通过C...
薛超凡吴衍青刘海岗杨树敏王连升赵俊邰仁忠
一种原位光通量监测及曝光剂量补偿方法
本发明涉及一种原位光通量监测及曝光剂量补偿方法,该方法通过采用光电二极管在光刻实验开始前对经过出射狭缝进入真空腔体内的主光束的光通量进行测量,并在进行实验曝光时对经过出射狭缝进入真空腔体内的强度与主光束成正比的杂散光的光...
薛超凡胡纯刘平吴衍青王连升杨树敏赵俊郑丽芳邰仁忠
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一种制备表面增强拉曼光谱基底的方法及其基底
本发明提供一种制备表面增强拉曼光谱基底的方法,包括:提供基片层;在基片层上通过蒸镀或溅射形成粘附层;在粘附层上通过蒸镀或溅射形成金属薄膜层;在金属薄膜层上通过蒸镀或溅射或化学气相沉积或薄膜湿法转移形成绝缘层;在绝缘层上通...
刘星邰仁忠吴衍青杨树敏赵俊王连升薛超凡
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一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室
本发明提供一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室,包括密封壳体以及在所述密封壳体中上下平行对置的高压电极板和收集电极板,其特征在于,所述收集电极板呈矩形,并由两个呈直角三角形的微通道板模块拼接而成。本发明通过将收集电...
薛超凡吴衍青王勇邰仁忠
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双光束白光干涉系统的理论模拟与实验研究
2017年
为了实现一般性样品的自由电子激光三维成像,搭建了一套用于上海软X射线自由电子激光装置的双光束单脉冲三维成像装置。计划利用可见光对该成像装置进行离线时空对准,利用自由电子激光对其进行在线时空对准。为了保证离线对准的顺利实现,需要搭建一套基于双光束白光干涉原理的离线对准系统。本文设计了一套双光束白光干涉系统,并结合波动光学原理和MATLAB软件对其进行了离线对准原理的理论模拟验证。随后搭建了该套系统,并成功对该系统进行了时空对准调试与验证,时间对准调节精度达48.1 fs。经简单改进后,该系统可作为自由电子激光三维成像装置的离线对准系统,用于其离线对准调节。
邓明君王勇薛超凡邰仁忠
关键词:自由电子激光双光束白光干涉
共2页<12>
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