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葛海军
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中国电子科技集团公司第四十三研究所
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孙函子
中国电子科技集团公司第四十三研...
童洋
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庄永河
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一种双腔体MEMS混合集成金属封装结构
本实用新型涉及一种双腔体MEMS混合集成金属封装结构,包括金属封装外壳,金属封装外壳通过连接层分为上腔和下腔。上腔和下腔之间通过垂直连接部互连。垂直连接部内部带有绝缘子,垂直连接部一端与上腔内的集成伺服电路金丝键合相连,...
庄永河
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