陈允昌
- 作品数：25 被引量：67H指数：6
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家科技部专项基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术交通运输工程电子电信更多>>
- 激光波长实时测量装置
- 本发明提供一种激光波长实时测量装置，其包括：一参考激光器，其发出特定波长的参考激光；一待测激光器，其发出待测激光；一第一偏振分光棱镜，对所述参考激光和待测激光进行偏振分光，分光后的光束经角锥棱镜反射回第一偏振分光棱镜；一...
- 孙建平张学一陈允昌张金涛
- 一种特殊几何点位移的光学倍频激光干涉测量系统及方法
- 本发明属于一种光学计量领域，涉及一种特殊几何点位移的光学倍频激光干涉测量方法，该方法在被测对象上放置两个角锥棱镜，对称的放置在特殊几何点的两侧，利用这两点的位移之和可以准确得到中心点位移；该方法利用偏振分光镜将激光器输出...
- 鲁云峰张钟华贺青陈允昌李正坤赵建亭韩冰李辰
- 文献传递
- 利用二维PSD器件测量小角度的研究 一种新型的自准直仪被引量：8
- 2001年
- 文章中对二维PSD用于二维小角度测量的研制的原理方法和试验结果作了介绍 ,同时对二维PSD自准直仪的性能特点也有较详细的分析论述 ,也为小角度测量仪器的开发提出了一种崭新的方法。
- 朱小平张永年杨自本陈允昌
- 关键词：自准直仪接收器
- 用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸测量的原子力显微镜被引量：10
- 2004年
- SPM是在纳米尺度上进行测量的重要的测量仪器之一 ,随着SPM进入工业测量领域 ,SPM的校准、量值溯源和测量不确定度分析已经成为SPM能够作为计量仪器使用的关键所在。文章论述了一种计量型原子力显微镜的构成、校准以及在国际比对中的应用。
- 高思田叶孝佑邵宏伟杜华金其海杨自本陈允昌
- 关键词：AFM校准表面形貌微小尺寸测量原子力显微镜
- 基于数值模拟的高准确度五步相移算法研究被引量：18
- 2006年
- 传统五步算法具有很好的准确度,但必须满足测量中无法实现的等步长相移条件,这在实际测量中无法使用。为此在双光束干涉原理的基础上,提出了一种改进型的五步算法,实现了在10 nm范围内任意步长的算法高准确度。通过数值模拟,结果表明:对于1 nm的步长测量误差、0.1%的信号测量误差,改进型五步算法的算法准确度优于0.001个相位周期,而且不需要等步长相移控制。改进型五步算法不仅技术上更易于实现,其结果也更加可靠,对于指导精密测长的实验和研究工作具有十分重要的意义。
- 罗志勇陈朝晖顾英姿陈允昌
- 关键词：光学测量相位误差
- 基于多光束干涉原理的相移算法研究被引量：22
- 2005年
- 针对多光束干涉原理的相移算法包括算法误差及步长优化等问题,以菲索干涉仪精密测长为应用背景进行了研究.利用干涉光学的基本原理导出了在多束光干涉(经光学面多次反射、透射)的情况下干涉光强随相位分布的精确公式;在此基础上,通过数值分析的方法得出了利用菲索干涉仪精密测长的相移步长的优化取值范围和干涉光束最佳初相位差的范围;对余弦依赖算法所引起的光强误差分别就四步法、五步法得出了不同的依赖关系;并对多光束干涉算法中几种主要的误差来源进行了不确定度评估.
- 罗志勇杨丽峰陈允昌
- 关键词：不确定度评估多光束干涉光干涉四步法五步法测长
- 精密干涉测量中余弦依赖算法的误差研究被引量：12
- 2005年
- 针对相移算法中以双光束干涉为基础的余弦依赖算法的算法误差,以菲佐干涉仪精密测长为应用背景进行了研究。利用干涉光学的基本原理导出了在多束光干涉(经光学面多次反射、透射)的情况下干涉光强随相位分布的精确公式;通过数值分析得出了在给定参量条件下忽略次级反射光所引入的光强误差达到14.4%;对余弦依赖算法所引起的光强误差分别就四步算法、五步算法得出了不同的依赖关系:由于四步算法比五步算法对光强误差更为敏感,因而五步算法具有更高的准确度;对于两个反射面均具有较高反射率的情况,必须考虑算法误差;当测长准确度要求不太高时,在两个或至少其中一个反射面反射率较低的情况下可以忽略算法误差的影响。
- 罗志勇杨丽峰陈允昌
- 关键词：光学测量多光束干涉
- 智能化经纬仪检测系统
- 1997年
- 本文介绍一种新型的高精度高效率的经纬仪检测系统。该系统在检定时符合检定状态和使用状态一致的原则，消除了不符合时带来的系统误差，精度能满足目前世界上各种高精度的电子、光学经纬仪的检定要求。本仪器采用计算机进行控制与计算。
- 朱良沐王益民陈允昌
- 关键词：经纬仪智能检测系统
- 实现纳米测量分辨力的激光干涉仪信号处理系统
- 本文介绍了一种具有纳米测量分辨力的激光干涉仪信号处理系统的构成,指出了其关键技术.包括干涉测量非线性误差修正,干涉条纹细分、位移计数方向判别,高精度测量自校准。经实验验证,测量分辨力优于0.1nm,成功地应用在所研制的纳...
- 叶孝佑高宏堂高思田陈允昌
- 文献传递
- 激光长距离精密准直方法与装置被引量：2
- 1992年
- 本文介绍长距离精密准直方法和研制成功的激光精密准直装置。该装置对960m准直距离的测量不确定度为0.16mm;用于建立3km火箭滑轨基准线,其合成不确定度<0.39mm。
- 赵家淇靳永东陈允昌郭力之赵文奎王民明叶一波
- 关键词：激光准直仪
