高思田
- 作品数：221 被引量：379H指数：11
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>
- 扫描电子显微镜校准规范
- 李伟高思田施玉书
- 用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作装置
- 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作装置，包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置，在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置，两个支撑立柱的上部固定有安装基板，在安装基板上装有...
- 高思田徐靖涛黄鹭施玉书李琪
- 一种纳米位移台六自由度校准装置
- 本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移...
- 施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
- 具有毫米行程的单轴纳米位移执行器
- 一种具有毫米行程的单轴纳米位移执行器，在其直线导向底座的一侧设有梯形凹槽，在该梯形凹槽的两个斜面上设有两对剪切压电陶瓷叠堆，在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有光滑支撑块，在该直线导向底座与直线运动负载台之间设有相互吸引的磁力预...
- 高思田徐胜李琪
- 文献传递
- 精密小角摆三维气浮工作台的研究
- 精密运动平台是一项通用关键技术。在长度计量中,对运动平台在直线运动中附加的旋转误差提出了较严格要求。为了研制出符合要求的运动平台,本文研究了气体静压轴承承载特性、直线导轨设计原则、三维运动台布局等问题,充分利用气浮导轨精...
- 卢明臻高思田施玉书杜华崔建军
- 关键词：计量学气体轴承
- 文献传递
- 单晶硅晶格间距的测量技术进展及应用被引量：2
- 2021年
- 单晶硅晶格间距是许多重要物理常数测量的基础。本文介绍了硅晶格间距测量技术的发展历程,包括X射线干涉仪直接测量和晶格比较仪间接测量两种方法,以及影响测量结果不确定度的关键因素。得益于晶格间距测量的进展,在纳米尺度,硅晶格间距被国际计量局(BIPM)批准成为新的米定义复现形式。最后介绍了硅晶格在计量学中的应用,以及基于硅晶格实现纳米几何量测量的溯源体系的研究趋势。
- 李伟施玉书李琪黄鹭李适高思田
- 关键词：单晶硅X射线干涉仪
- 一种光学检测系统及装置
- 本发明公开了一种光学检测系统及装置，所述系统包括由上至下依次排列的激光器、非偏振分光镜、偏振分光镜、透反镜及测量透镜；非偏振分光镜位置水平对应光电接收器A，透反镜与测量透镜之间固定有λ/4波片，偏振分光镜位置水平对应光电...
- 施玉书高思田边文斌李伟李琪李适朱振东皮磊
- 文献传递
- 纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对
- 对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对.比对结果证明了该测量系统具有优良的计量性能,能够用于...
- 高思田邵宏伟王春艳
- 关键词：检定校准
- 文献传递
- 248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜
- 一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜...
- 高思田李琪施玉书李伟李适王鹤群
- 文献传递
- 纳米精度MEMS平面运动测量技术被引量：1
- 2008年
- 为实现MEMS谐振器在周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数的纳米精度测量,提出了一种基于块匹配的最优根值亚像素运动估计测量方法.该方法在双线性插值细分技术基础上,将物体亚像素位移的定位转换为求解方程的最优根值的方式,通过最小均方差法获得物体运动位移的纳米级分辨力测量结果.该算法避免了传统算法中由于迭代所引起的大量运算.利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析,得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度-相位曲线.实验结果表明,采用该方法得到的平面位移测量分辨力为5 nm.
- 高思田陈治胡晓东傅星胡小唐
- 关键词：动态特性块匹配亚像素
