施玉书
- 作品数：170 被引量：180H指数：8
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 产品几何技术规范（GPS）X射线三维尺寸测量机 第1部分：词汇
- 施玉书朱悦张欣宇宋振飞张树宋金城郭继平魏纯胡佳成孙晓涛皮磊张勇卢粲王云祥傅健王珉王俊雄曹丛战国科史舟淼
- 微纳米台阶高度评定方法的比较与分析被引量：4
- 2020年
- 台阶高度作为纳米计量领域中的一个具有代表性的参数,其评定方法层出不穷,本文对现有的台阶高度评定方法进行了介绍,并对其重复性以及一致性进行了分析。结果表明:点对点法和直方图算法受噪声等畸变影响较大,重复性较差;而对直方图算法进行改进,台阶高度由计算直方图中分别对应台阶高、低区域的峰值的横坐标之差转而计算重心的横坐标之差,重复性提高;ISO法、最小二乘多项式拟合法和光学显微解耦合准则重复性较好,计算结果更稳定。通过计算归一化偏差En值来判别6个评价方法的一致性,结果表明其测量结果等效一致。
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- 关键词：一致性
- 一种用于长度测量校准的标准器组
- 本发明公开了一种用于长度测量校准的标准器组，其包括底座、支撑棒和标准球，所述底板上设置有若干通孔，所述支撑棒的一端设置在所述通孔中，所述支撑棒的另一端设置有一球窝，所述标准球设置在所述球窝内，所述标准球与所述球窝底面之间...
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- 文献传递
- 一种振动测量系统
- 本发明公开了一种振动测量系统，包括：激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中，激光器用于发射激光光束；准直透镜设置在激光器的输出光路上，用于将激光光束转换成准直光束；多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上...
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- 文献传递
- 248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜
- 一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜...
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- 一种杠杆式表面轮廓测量传感器
- 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器，涉及零件几何轮廓测量技术领域，包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块；杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点，杠杆转动安装于支点上，触针安装于杠杆的第一端，...
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- 文献传递
- 一种自溯源的二维位移测量装置
- 本发明公开了一种自溯源的二维位移测量装置，涉及精密位移测量技术领域，该装置包括：第一射线源、第二射线源、晶片固定板、第一硅晶片、第二硅晶片、第三硅晶片，第一辐射探测器，第二辐射探测器和XY二维位移平台；其中，包括X方向上...
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- 精密测量系统气浮工作台瞬态控制方法被引量：1
- 2008年
- 气浮工作台是精密仪器中常用的位移机构。为了消除气体微振动对精密测量的影响，提出了气浮工作台区分两种工作模式：运动模式和测量模式。在掌握气体止推轴承上气和排气的瞬态过程规律的基础上，提出了一种模式切换过程中气浮工作台的瞬态控制方法，实现其运动模式和测量模式的平稳过渡。气浮工作台在上气过程中的偏移不大于250nm，排气过程中的偏移不大于200nm，且经历时间在0．3s左右。该方法的提出提高了气浮工作台的性能，使之成为测量系统中优良的大范围位移系统。
- 卢明臻高思田施玉书杜华崔建军
- 关键词：计量学气体轴承微振动瞬态
- 基于可溯源光栅的高精度位移测量系统研究及不确定度分析
- 2025年
- 通过构建以光栅栅距校准值作为栅距量值的可溯源光栅位移测量系统,实现量值从米定义到光栅位移测量系统的传递。分析了光栅与读数头之间的对位误差对栅距和干涉信号对比度的影响。并进行系统的静态稳定性实验和与激光干涉仪的位移测量一致性实验,实验结果表明:可溯源光栅位移测量系统的短期稳定性为3.35 nm,长期稳定性优于70 nm;系统与激光干涉仪对不同行程位移的测量结果具有较好的一致性,在10μm和500μm位移范围内的各测量点处,测量平均值误差的绝对值分别不超过0.07%和0.013%。最后分析系统测量不确度的主要来源,并评定系统对10μm位移测量的不确定度,结果显示相对扩展不确定度为0.83%(k=2)。
- 高启元施玉书张树张树王康胡佳成
- 关键词：几何量计量激光干涉仪不确定度
- 适用于TERS系统的金修饰钨丝探针制备和研究被引量：3
- 2020年
- 提出了一种适用于针尖增强拉曼光谱(TERS)系统的金修饰钨丝探针,研究了其制备方法。有限元仿真设计了针尖的形状为内弧形针尖,并进行二氧化硅粘结层和金颗粒外层双镀膜结构纳米修饰;通过调节实验室自主研制的电化学腐蚀探针装置的溶液浓度、电机位移和浸入深度制备符合形状要求的钨丝针尖;在此基础上,通过电感耦合等离子体化学气相沉积技术(ICP-CVD)进行二氧化硅涂层镀制,电子束加热物理气象沉积技术(EB-PVD)进行金涂层镀制。最终完成该探针制备,双层镀膜后针尖曲率半径达30~80 nm,可用于TERS研究。
- 都伯林高思田黄鹭施玉书曲兴华
- 关键词：计量学
