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张丛鹏

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京航空航天大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇大行程
  • 2篇导轨
  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动
  • 2篇直线电机
  • 2篇直线电机驱动
  • 2篇冗余
  • 2篇双直线电机
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻机

机构

  • 2篇北京航空航天...

作者

  • 2篇齐畅
  • 2篇刘强
  • 2篇张丛鹏
  • 2篇袁松梅

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
双直线电机冗余同步驱动的T型工作台
本发明公开了一种双直线电机冗余同步驱动的T型工作台，由基座、X轴运动模块、Y轴运动模块、三个直线电机和四对导轨组成。X轴运动模块的X导轨固定在基座上，由两台直线电机驱动，其两台直线电机定子分别固定在基座上；Y轴运动模块的...
刘强齐畅袁松梅张丛鹏
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双直线电机冗余同步驱动的T型工作台
本发明公开了一种双直线电机冗余同步驱动的T型工作台，由基座、X轴运动模块、Y轴运动模块、三个直线电机和四对导轨组成。X轴运动模块的X导轨固定在基座上，由两台直线电机驱动，其两台直线电机定子分别固定在基座上；Y轴运动模块的...
刘强齐畅袁松梅张丛鹏
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