齐畅
- 作品数：6 被引量：14H指数：2
- 供职机构：北京航空航天大学机械工程及自动化学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 面向IC封装的高性能运动系统研究
- 齐畅
- 关键词：刚柔耦合机电耦合最优预见控制
- 双直线电机冗余同步驱动的T型工作台
- 本发明公开了一种双直线电机冗余同步驱动的T型工作台，由基座、X轴运动模块、Y轴运动模块、三个直线电机和四对导轨组成。X轴运动模块的X导轨固定在基座上，由两台直线电机驱动，其两台直线电机定子分别固定在基座上；Y轴运动模块的...
- 刘强齐畅袁松梅张丛鹏
- 基于自适应和模糊控制的新型XY平台同步控制研究被引量：9
- 2008年
- 高性能XY平台普遍应用于集成电路(IC)制造和封装设备中。为获得较高加速度,提出了一种单边双直线电机冗余驱动的新型XY定位平台。冗余驱动系统在高速和高加速运动时均存在同步运动精度问题。针对X轴向双直线电机的同步驱动控制,建立了冗余驱动数学模型,并基于模型参考自适应控制和自适应模糊控制算法,设计了运动控制器,确保了同步运动精度。仿真结果表明,在较高加速度运动时,系统具有良好的静态、动态性能和较高的同步运动精度。
- 陈静刘强齐畅
- 关键词：自适应控制模糊控制鲁棒性
- 面向芯片封装的冗余驱动T型XY运动系统的研制被引量：1
- 2008年
- 面向芯片封装设备对高速高精度的需求,提出了一种多直线电机冗余驱动的T型XY运动系统。T型XY工作台以单直线电机作为Y轴动力源,双直线电机作为X轴动力源,并配以高分辨率、高精度的位置检测元件和控制系统,共同组成T型运动系统。叠加式的机械结构设计使得工作台尺寸小、质量轻、刚度高;多电机的冗余驱动为系统提供了更大推力以提高设备的加速度。通过扫频试验,建立了系统的实验模型,在实验模型基础上设计了控制器并进行了实验研究。该运动系统目前实现了最大速度0.65m/s,最大加速度9.25g,及微米级定位精度的性能指标,能够适应当前IC封装业发展对高速高精度的要求。
- 齐畅刘强袁松梅
- 关键词：冗余驱动扫频测试FFT
- 高性能XY工作台的运动建模与控制研究
- 该论文提出了面向直线电机驱动的一种高性能XY工作台运动建模的'宽频多模态复合运动建模方法'.首先,从振动学观点着手,将高性能工作台的伺服运动与振动相结合,在工作台主运动上叠加了沿垂直方向的直线振动、偏摆振动、俯仰振动、侧...
- 齐畅
- 关键词：运动控制XY工作台
- 双直线电机冗余同步驱动的T型工作台
- 本发明公开了一种双直线电机冗余同步驱动的T型工作台，由基座、X轴运动模块、Y轴运动模块、三个直线电机和四对导轨组成。X轴运动模块的X导轨固定在基座上，由两台直线电机驱动，其两台直线电机定子分别固定在基座上；Y轴运动模块的...
- 刘强齐畅袁松梅张丛鹏
