尤大伟
- 作品数：18 被引量：46H指数：4
- 供职机构：中国科学院空间科学与应用研究中心更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术核科学技术电子电信更多>>
- 用于辅助镀膜的霍尔等离子体源
- 上个世纪八十年代以来,人们在制造高质量的光学薄膜时,更加重视等离子体离子的动量传递的辅助作用,它对改进膜的附着力、致密度、吸收度、折射率、结晶结构都大有益处。 目前普遍使用的有栅考夫曼或射频离子源,无栅的APS源均具有控...
- 尤大伟黄小刚武建军
- 关键词：光学镀膜离子束辅助镀膜等离子体加速
- 直热式阴极使用寿命的实验与分析
- 本文对广泛应用于考夫曼离子源和霍尔离子源的直热式阴极,在相同的放电条件下,分别在直流(DC)、工频交流(50Hz)和高频交流(10KHz)电源的驱动下的使用寿命和损坏情况进行了大量的实验,得出了相应的规律。同时又对在不同...
- 任荆学尤大伟
- 关键词：直热式阴极使用寿命高频离子源
- 文献传递
- 用于辅助镀膜的霍尔等离子体源
- 论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称该源为端部霍尔加速器.最后给出了束流及均匀区实测结果.
- 尤大伟黄小刚武建军
- 关键词：光学镀膜离子束辅助镀膜等离子体加速
- 文献传递
- 走向光学工业应用的辅助镀膜霍尔等离子体源被引量：4
- 2002年
- 论述了霍尔等离子体源的工作原理 ,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布。本设计采用永久磁铁并利用极靴产生发散磁场 ,及沿轴向有较大梯度的磁场 。
- 尤大伟李安杰江建国武建军黄小刚
- 关键词：光学镀膜离子束辅助镀膜
- 宽束射频离子源匹配网络
- 2006年
- 介绍宽束射频离子源原理及结构,分析射频匹配网络中调谐和负载电容与输入频率、离子源电阻、传输线特征阻抗、支路电感的关系,导出了射频离子源阻抗公式。
- 马利民尤大伟巴德纯
- 关键词：匹配网络阻抗
- 制备光学薄膜的离子源技术
- 本文叙述了制备光学薄膜的各种常用辅助镀膜离子源工作原理,关键技术。并制表予以比较。
- 尤大伟
- 关键词：光学薄膜离子束辅助镀膜
- 离子束增强沉积制备TiB_2薄膜及其性能研究
- 1995年
- 用离子束增强沉积法（IBED）在硅及铜基体上沉积了TiB2薄膜，研究了轰击离子束能量和束流对薄膜的微结构及力学性能的影响。用俄歇电子谱（AES）分析了膜的成分及其界面状况，用X射线衍射（XRD）研究了膜的微结构，并测定了膜的硬度及进行了膜的高温氧化试验。结果指出：（1）离子束轰击使薄膜晶化，从而影响到膜的硬度及抗高温氧化性能；（2）离子束增强沉积的二硼化钛薄膜是一种耐高温氧化的高硬膜。
- 况园珠尤大伟白新德尤引娟
- 关键词：离子束增强沉积晶化
- 制备光学薄膜的离子源技术
- 众所周知，制备高质量的光学薄膜已经离不开离子束技术。光学膜要求高硬度及高附着力，一般采用离子束清洗加以改善，要求降低由于薄膜吸潮引起波长向长波漂移，降低薄膜的吸收及散射引起的光学损耗，降低薄膜的抗激光损伤，一般均采用合适...
- 尤大伟
- 关键词：光学薄膜离子源离子束辅助镀膜
- 文献传递
- 制备光学薄膜的离子源技术概述被引量：25
- 2009年
- 随着工业技术的发展及市场的需求,低能宽束离子源已广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、材料改性的离子束注入混合技术和光学薄膜制备的离子束辅助镀膜技术。本文在多年该技术的实践与发展基础上,总结了制备光学薄膜的各种常用辅助镀膜离子源,其中包括考夫曼离子源、霍耳离子源、射频离子源、无栅离子源、阳极层离子源(均由我们实验室制造)的工作原理,设计要点,分析了使用时可能出现的问题及解决办法,最后从各种离子源的工作机制、工作特点、性价比、优缺点上予以比较。相信会有益于从事薄膜的工作者。
- 尤大伟
- 关键词：离子束辅助镀膜
- 用于薄膜制备的宽束射频离子源
- 本文叙述了射频感应离子源的设计理论、关键技术.特别论及三栅离子光学的高性能及可靠性。
- 尤大伟黄小刚任荆学李安杰
- 关键词：射频离子源感应耦合等离子体
- 文献传递
