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吴英奎
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
大连理工大学电子科学与技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
万徽
大连理工大学电子科学与技术学院
王兢
大连理工大学电子科学与技术学院
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大连理工大学...
年份
1篇
2003
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硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件特性分析
被引量:3
2003年
以硅片为衬底制作了纳米钛酸钡膜湿敏元件.用硬脂酸盐法合成纳米钛酸钡材料,丝网印刷法将纳米钛酸钡涂在硅衬底上制成电阻式湿敏元件.测试分析了元件的性能参数.结果表明,元件具有较高的灵敏度.元件阻抗和电容值随测试频率及相对湿度而变化,但基本不随测试电压变化.在1V、100Hz条件下,元件阻抗-相对湿度关系曲线的线性最好.由不同湿度的复阻抗平面特性曲线得到了材料感湿特性等效电路,讨论了材料的感湿机理.低湿时,材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水共同起作用;高湿时,主要是吸附的水分子电离和极化起作用.
王兢
吴英奎
万徽
关键词:
纳米钛酸钡
湿敏元件
硅衬底
感湿机理
丝网印刷法
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