万徽
- 作品数:3 被引量:11H指数:2
- 供职机构:大连理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 用复阻抗法分析纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理被引量:6
- 2003年
- 用复阻抗方法对硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件的感湿机理进行了分析。实验测量了湿敏元件在不同相对湿度下的复阻抗特性曲线及阻抗、电容等参数随频率的变化曲线。分析出相应的等效电路,推导了等效电路有关参数,分析讨论了纳米钛酸钡湿敏元件的感湿机理。低湿时,感湿材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水分子共同起作用;高湿时,吸附的水分子电离和极化起主要作用。
- 万徽王兢宝晓鹏
- 关键词:纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理等效电路
- 硅基纳米湿敏元件特性、机理研究及其测试仪设计
- 以硅片为衬底制作了纳米钛酸钡(BaTiO<,3>)膜湿敏元件.用硬脂酸盐法合成纳米钛酸钡材料,丝网印刷法将纳米钛酸钡涂在硅衬底上制成电阻式湿敏元件.测试分析了元件的性能参数,结果表明,元件具有较高的灵敏度.元件阻抗(Z)...
- 万徽
- 关键词:湿敏元件感湿机理程控放大湿度测试仪
- 文献传递
- 硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件特性分析被引量:3
- 2003年
- 以硅片为衬底制作了纳米钛酸钡膜湿敏元件.用硬脂酸盐法合成纳米钛酸钡材料,丝网印刷法将纳米钛酸钡涂在硅衬底上制成电阻式湿敏元件.测试分析了元件的性能参数.结果表明,元件具有较高的灵敏度.元件阻抗和电容值随测试频率及相对湿度而变化,但基本不随测试电压变化.在1V、100Hz条件下,元件阻抗-相对湿度关系曲线的线性最好.由不同湿度的复阻抗平面特性曲线得到了材料感湿特性等效电路,讨论了材料的感湿机理.低湿时,材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水共同起作用;高湿时,主要是吸附的水分子电离和极化起作用.
- 王兢吴英奎万徽
- 关键词:纳米钛酸钡湿敏元件硅衬底感湿机理丝网印刷法