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朱丽丽

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：西安电子科技大学微电子学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇有限元
  • 1篇有限元分析
  • 1篇铜互连
  • 1篇热应力
  • 1篇互连
  • 1篇CU互连

机构

  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 1篇吴振宇
  • 1篇杨银堂
  • 1篇彭杰
  • 1篇朱丽丽
  • 1篇韩军武
  • 1篇魏经天

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Cu互连中应力诱生空洞的有限元分析被引量：1
2012年
采用有限元分析方法模拟铜互连系统中的热应力分布,模拟了在铜互连不同位置处应力诱生空洞前后应力的分布及其变化,研究互连中应力诱生空洞可能的生长位置及其几何形状。结果表明,互连中的应力分布呈明显的各向异性,水平方向上的应力梯度显著大于垂直方向。互连系统中的张应力在M1顶端通孔两侧出现极大值。在M1顶端通孔两侧的空洞生长可以有效释放互连张应力,且随着空洞尺寸的增大张应力不断减小甚至发生向压应力的转变。从能量角度分析,应力诱生空洞释放的应变能提供了空洞在生长过程中克服能量势垒所需要的能量。模拟结果表明,椭圆空洞在生长过程释放更多的弹性能,空洞在生长过程中逐渐由圆形向椭圆转变,更有利于空洞的生长。
彭杰韩军武吴振宇杨银堂魏经天朱丽丽
关键词：铜互连热应力有限元分析
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