冷何英
- 作品数:9 被引量:45H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 离线对准系统
- 李声戴俊钊牟家均冯常唐岚林妩媚冷何英周国忠李恩德于红岗胡其华杨洪田杨超
- 该项目由中科院光电技术研究所为中国科大国家同步辐射实验室研制的,用于国家同步辐射实验室二期工程LIGA站X射线光刻制作微电子机械系统的关键光刻设备。本系统对准流程是以硅片为基准,硅片固定于刚体上不动;调节目视及电视测量运...
- 关键词:
- 关键词:离线
- 高精度图像处理系统中亚象元边缘定位经分方法的研究
- 该文研究了高精度图像测量系统中提高边缘定位精度的亚象元细分方法.该文紧紧围绕着离线对准系统对准重复性精度σ≤0.1μm这一技术指标的实现,在分析实际掩模-硅片图像信号和标记边缘特性的基础上,比较了国内外多种亚象元细分方法...
- 冷何英
- 文献传递
- 适用于高精度边缘检测的多维亚象元细分算法
- 本文从一维细分算法的局限性出发,提出了适用复杂图像边缘高精度检测的多维亚象元细分思想,并初步探讨了一种新颖的融合方向性和相关性二维信息的细分算法——方向性相关加权算法,重点阐述了算法的基本原理和实现步骤.仿真结果表明:本...
- 冷何英戴俊钊段海峰杨洪
- 关键词:相关系数峰值信噪比图像测量
- 文献传递
- 实用型亚像元定位方法的研究被引量:8
- 2000年
- 针对重复曝光离线对准系统 ,提出一种实用型亚像元定位方法———自适应加权拟合细分算法 (AWS) ,详细分析了算法的理论基础和基本原理 ,利用投影平均来提高信噪比 ,一维尺寸对比度滤波器单调分区 ,自动加权突出关键点 ,重建拟合曲线。仿真和硬件平台实验均表明 :该算法具有较高的重复定位精度和实时处理能力。
- 冷何英戴俊钊
- 关键词:滤波器
- 基于相似度的双搜索多目标识别算法被引量:7
- 2002年
- 在分析远距离多目标特性的基础上,提出了一种基于相似度的粗精双搜索多目标识别算法。在粗搜索阶段,首先利用圆形形态学模板在滤波后的二值化图像中快速搜索候选目标,再利用"距离相似度"原则进行候选目标的聚类分析,以同一目标内各候选目标点的形心位置作为局部熵处理区域中心。在精搜索阶段,以最大熵值点为种子点进行目标区域生长。为了减少运算量,提高实时性,还采用基于熵相似度、简单连接法与子区合并法相结合的改进型区域生长法,重构单个目标。仿真结果表明该算法可快速、准确地实现对5个目标的识别。
- 冷何英王敬儒蔡敬菊
- 关键词:相似度
- 基于TMS320C6202的嵌入式系统实时软件模块设计被引量:4
- 2003年
- 首先介绍了DSP嵌入式系统的基本概念、显著技术特性以及C6 0 0 0的软件编程环境和特点。再从工程和系统的角度出发 ,在设计一个实用高速DSP嵌入式系统———基于TMS32 0C6 2 0 2的实时多目标识别跟踪平台的基础上 ,详细介绍了该系统的软件体系结构和开发流程 ,进行了实时模块设计。并总结了在实际系统软硬件集成实验过程中的若干编程技巧和要点。
- 冷何英王敬儒
- 关键词:嵌入式系统TMS320C6202流水线
- 目标识别新算法的研究与应用被引量:7
- 2001年
- 文中提出一种新的目标识别算法———形状尺寸对比度滤波器算法 ,它是在尺寸对比度滤波器的基础上 ,加上目标形状特征 ,克服了原单一回形结构算法的局限性 ,使算法可准确地识别具有特定形状和尺寸的目标。针对硅片对准八字标记 ,介绍了算法的基本原理和结构参数设计。通过对算法的分析及工程实际应用 ,有效地验证了该算法识别目标的正确性 ,并证实其特点。
- 戴俊钊冷何英
- 关键词:对比度目标识别滤波器
- 基于TMS320C6202的实时多目标识别跟踪系统处理平台设计被引量:15
- 2002年
- 为解决电视捕获跟踪瞄准系统中算法复杂性与系统实时性之间的矛盾。本文设计了以最新DSP芯片TMS320C6202为核心处理器、基于FPGA和PCI总线的实时多目标识别跟踪处理平台。通过对C6202和C6201芯片性能的比较,得出C6202适合实时图像处理的特点。重点介绍了该实时处理平台的基本组成、工作原理和系统优化措施。针对复杂背景下目标多、小、弱的特点,初步探讨了一种易于FPGA硬件实现的模糊边缘检测算法的理论基础。
- 冷何英王敬儒张启衡张覃平
- 关键词:TMS320C6202雷达
- 高精度图象测量系统中的细分方法被引量:4
- 1999年
- 根据国内外高精度图象测量系统方法的文献资料,对各种细分方法的优缺点、适用范围作了详细的比较对照.在此基础上,提出一种适用于实际离线对准系统的细分方法一自适应权重5点拟合细分算法(AWS),分析其理论基础和创新点,并给出仿真结果。
- 冷何英戴俊钊