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陈逸清

作品数：8 被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室更多>>
发文基金：上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇自然科学总论
  • 1篇理学

主题

  • 5篇铁电
  • 5篇铁电薄膜
  • 3篇准分子
  • 3篇脉冲激光
  • 3篇脉冲激光沉积
  • 3篇分子
  • 3篇PZT
  • 2篇退火
  • 2篇准分子激光
  • 2篇激光
  • 2篇PZT铁电薄...
  • 2篇存储器
  • 1篇液芯光纤
  • 1篇散射
  • 1篇受激
  • 1篇受激喇曼散射
  • 1篇四波混频
  • 1篇四氯化碳
  • 1篇铁电存储器
  • 1篇退火研究

机构

  • 8篇中国科学院上...
  • 1篇上海市激光技...

作者

  • 8篇陈逸清
  • 6篇林成鲁
  • 6篇郑立荣
  • 5篇邹世昌
  • 2篇许华平
  • 1篇邱明新
  • 1篇宋世庚
  • 1篇张顺开
  • 1篇辛火平
  • 1篇王磊

传媒

  • 2篇中国激光
  • 1篇科学通报
  • 1篇Journa...
  • 1篇物理
  • 1篇自然杂志
  • 1篇微电子学与计...
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 2篇1996
  • 3篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1993
  • 1篇1992
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
新型铁电存贮器和铁电薄膜的脉冲激光沉积被引量：4
1995年
结合自己的工作，介绍了目前国际上新型功能材料与器件研究的热点之一──铁电集成和铁电存贮器的研究开发；报道了用脉冲激光沉积（ＰＬＤ）这种新型成膜技术制备铁电ＰＺＴ薄膜的一些实验结果．
郑立荣陈逸清林成鲁邹世昌
关键词：存储器铁电薄膜脉冲激光沉积
集成铁电存储器──新型快速、抗辐照、非挥发性存储器件被引量：1
1996年
本文介绍了铁电存储器的原理，对非挥发性铁电存储的研究和开发情况作了综述。并就制约着铁电集成器件真正商业化的若干铁电薄膜材料物理方面关键问题作了分析。首先提出了在铁电集成器件工艺中还存在着综合优化问题。最后，对铁电存储器的未来作了预测。
许华平郑立荣陈逸清林成鲁邹世昌
关键词：存储器件铁电存储器抗辐照
四氯化碳和苯乙醇混合液液芯光纤中的受激喇曼散射和四波混频被引量：6
1993年
用调QYAG激光器的倍频光(λ=532.1nm)在充有四氯化碳和苯乙醇混合液液芯光纤中观察到受激喇曼散射(SRS)和四波混频(FWM)现象,对各条谱线的频率进行了标定,并给出了一些理论分析。
陈逸清王磊邱明新
关键词：受激喇曼散射四波混频
脉冲准分子激光PZT薄膜的制备被引量：9
1994年
本实验采用脉冲准分子激光沉积（ＰＬＤ）法，在１９３ｎｍ波长，５Ｈｚ频率，４Ｊ／ｃｍ２能量密度条件下，分别在Ｓｉ（１００）和ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上成功地沉积Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３（ＰＺＴ）薄膜，并在不同的条件下对ＰＺＴ薄膜进行退火处理。用ＸＲＤ，ＲＢＳ，ＡＳＲ等方法分别测量了薄膜的结构、组份和厚度。
陈逸清郑立荣林成鲁邹世昌
关键词：PZT铁电薄膜准分子激光沉积
Pb（Zr_（0．52）Ti_（0．48））O_3铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积
1995年
用ＡｒＦ脉冲准分子激光在ＳＯＩ和Ｐｔ／ＳＯＩ衬底上沉积了Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ＿３铁电薄膜，并用快速退火进行热处理。ｘ射线衍射、卢瑟辐背散射等分析表明：所结晶的薄膜是以（１００）和（１１０）为主要取向的多晶膜，且结晶情况与热处理温度和时间密切相关；ＰＺＴ薄膜呈现铁电性，其剩余极化Ｐｒ＝１５μｃ／ｃｍ￣２，矫顽电场Ｅｃ＝５０ｋＶ／ｃｍ；并且具有较高的介电常数和较高的电阻率。
郑立荣陈逸清许华平辛火平宋世庚林成鲁
关键词：PZT铁电薄膜脉冲激光沉积快速退火
脉冲准分子激光PZT铁电薄膜沉积及其特性研究被引量：1
1995年
随着大规模集成电路的迅速发展,要求集成器件向三维器件及多功能器件发展.由于铁电薄膜具有非挥发性(non-volatility)、抗辐照性(radiation-hardness)、电极化特性,因此,铁电薄膜及其在微电子和光电子领域中的应用研究已成为当前国际上新型功能材料与集成器件的热点,如铁电随机存储器(FERAM)、动态随机存储器(DRAM)、薄膜电容、SAW器件及红外探测器等.
陈逸清郑立荣张顺开林成鲁邹世昌
关键词：脉冲激光沉积铁电薄膜PZT
准分子激光在材料改性方面的应用
1992年
准分子激光由于波长短、功率大、效率高,特别是能够获得多种波长的紫外激光,因而在材料改性领域获得了广泛的应用。
陈逸清
关键词：准分子激光材料改性紫外激光激光刻蚀重复率激光作用
SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究
1996年
用ＡｒＦ脉冲准分子激光在ＳＯＩ和Ｐｔ／ＳＯＩ衬底上沉积了Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３铁电薄膜，并用快速退火进行热处理．Ｘ射线衍射、卢瑟辐背散射等分析表明：所结晶的薄膜是以（１００）和（１１０）为主要取向的多晶膜，且结晶情况与热处理温度和时间密切相关；ＰＺＴ薄膜呈现良好的铁电性．
郑立荣陈逸清张顺开林成鲁邹世昌
关键词：SOI准分子激光退火铁电薄膜
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