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赵猛

作品数：3 被引量：6H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇有机分子
  • 2篇退火
  • 2篇挥发性
  • 2篇基底表面
  • 2篇固态
  • 2篇分子
  • 2篇高能
  • 2篇高温退火
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻技术
  • 1篇光学
  • 1篇光学系统
  • 1篇分辨率
  • 1篇分辨率增强技...
  • 1篇半导体

机构

  • 3篇上海交通大学
  • 1篇兰州大学

作者

  • 3篇赵猛
  • 3篇张亚非
  • 3篇徐东
  • 2篇张效岩
  • 2篇王英
  • 1篇王印月

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
  • 1篇2002
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
超精细图案光刻技术的研究与发展被引量：6
2002年
根据国内外研究和发展现状 ,对有望突破 1 0 0nm超精细图案光刻分辨率的一些关键技术进行了阐述 ,其中包括曝光技术、掩模技术、光学系统改进和以离轴照明、相位移掩模、多重滤光和图形演算为代表的分辨率增强技术等。
赵猛张亚非徐东王印月
关键词：光刻分辨率光学系统分辨率增强技术半导体
固态基底表面有序排布纳米颗粒的方法
一种固态基底表面有序排布纳米颗粒的方法属于纳米技术领域。本发明的具体步骤为：将带有亲水和疏水基团的链状有机分子溶于挥发性非水溶剂中。将与带有亲水和疏水基团的链状有机分子结合的纳米颗粒分散于上述溶液中。以纯水为底液，将上述...
张亚非王英徐东张效岩赵猛
文献传递
固态基底表面有序排布纳米颗粒的方法
一种固态基底表面有序排布纳米颗粒的方法属于纳米技术领域。本发明的具体步骤为：将带有亲水和疏水基团的链状有机分子溶于挥发性非水溶剂中。将与带有亲水和疏水基团的链状有机分子结合的纳米颗粒分散于上述溶液中。以纯水为底液，将上述...
张亚非王英徐东张效岩赵猛
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