李妙
- 作品数：5 被引量：19H指数：3
- 供职机构：南昌大学太阳能光伏学院更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程动力工程及工程热物理更多>>
- 金刚石线锯切割多晶硅片的气相刻蚀制绒研究（英文）被引量：2
- 2015年
- 采用气相刻蚀制绒法研究金刚石线锯切割多晶硅片制绒.加热体积比1:3、总体积400mL的HF-HNO3酸混合溶液到90℃,使酸混合溶液受热产生气相,利用气相对金刚石线锯切割多晶硅片表面进行制绒.结果表明,制绒15min之后,硅片表面的切割纹被完全去除;小腐蚀坑密布硅片表面,尺寸小于1μm,而传统湿法酸制绒所形成的腐蚀坑尺寸大于10μm.气相刻蚀后的金刚石线锯切割多晶硅片表面的微观粗糙度比传统酸混液制绒后的金刚石线锯切割多晶硅片表面的微观粗糙度高3倍多.气相制绒效果明显,并仅有12.11%的低反射率.
- 刘小梅陈文浩李妙周浪
- 关键词：多晶硅反射率
- 金刚石线锯切割多晶硅片表面特性与制绒方法研究
- 金刚石线锯切割技术是一种采用固着金刚石颗粒的钢线代替钢线和砂浆的新型切片技术。与现行的砂浆切割技术相比,它具有切割速率快、环境负荷小以及切割锯屑易回收等优势,有望成为未来硅片切割生产的主流技术。但业界反映现行的酸制绒工艺...
- 李妙
- 关键词：多晶硅片表面形貌
- 文献传递
- 金刚石线锯切割多晶硅片的气相制绒研究被引量：2
- 2014年
- 采用气相制绒方法对金刚石切割多晶硅片进行表面制绒.2g硅加到HF-HNO3-H2O(400mL,体积比为6:3:1)的酸混合溶液中在室温下反应产生气相,利用气相对金刚石切割多晶硅片表面进行制绒研究.制绒4min时,硅片表面的切割纹被完全去除、大坑套小坑的蜂窝状蚀坑密布硅片表面,减反效果显著,反射率低至19.51%.气相制绒后的金刚石切割多晶硅片表面的微观粗糙度比传统酸混合溶液制绒后的高约20%.
- 刘小梅陈文浩李妙周浪
- 关键词：反射率多晶硅
- 金刚石切割多晶硅片切割痕性质与消除方法研究被引量：9
- 2014年
- 金刚石线锯切割多晶硅片表面存在两种尺度的切割痕纹：由锯线往复运动形成的周期在亚毫米尺度的往复纹，和由金刚石划出的宽度在微米尺度的划痕。金刚石切割硅片的微观粗糙度比砂浆切割硅片小～25％。金刚石切割硅片相对粗糙表观以及往复纹的呈现都来自于光滑划痕的视觉增强作用。酸刻蚀制绒不能消除金刚石切割硅片表面切割痕纹；碱刻蚀只能消除部分晶粒之上的切割痕纹。尝试了一种气相酸刻蚀方法，取得了彻底消除金刚石切割硅片表面切割痕纹的效果，同时获得了良好的制绒效果，但其均匀性有待改善。
- 陈文浩李妙刘小梅魏秀琴周浪
- 关键词：金刚石线锯多晶硅
- 金刚石线锯切割多晶硅片表面特性与酸刻蚀制绒问题被引量：8
- 2014年
- 为解决金刚石切割多晶硅片与常规HF-HNO3-H2O混合酸湿法制绒技术不兼容的问题，对金刚石切割多晶硅片的表面特性和大幅度提高混合酸溶液中HF的比例进行了刻蚀制绒实验．结果表明，金刚石线切割多晶硅片表面存在约33％的光滑条带区域，其余为与砂浆切割硅片表面相近的粗糙崩坑区域；这些光滑区域使得金刚石切割多晶硅片表面光反射率比砂浆切割多晶硅片高3％～4％；而且光滑区域在富HN0。和富HF的HF—HNO3-H2O混合酸溶液中均较难于腐蚀，使其刻蚀制绒后反射率比砂浆切割多晶硅片低1％～2％，制绒后的金刚石切割多晶硅片反射率比制绒后的砂浆切割多晶硅片高4％～6％，不能满足太阳电池生产要求．富HNO3和富HF两种酸刻蚀体系，均不能解决金刚石切割多晶硅片的制绒问题．
- 刘小梅李妙陈文浩周浪
- 关键词：多晶硅金刚石线锯反射率
