陈文浩
- 作品数：12 被引量：18H指数：2
- 供职机构：南昌大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信动力工程及工程热物理自动化与计算机技术更多>>
- 金刚石线锯切割多晶硅片的气相刻蚀制绒研究
- 金刚石线锯切割太阳电池硅片技术具有切割速度快、硅片质量高以及环境负荷小等诸多优点，已在单晶硅片切割生产中逐渐推广应用。然而金刚石线锯切割多晶硅片却存在使用现行酸性湿法工艺进行减反射制绒失效的问题。作者针对解决该问题实验研...
- 陈文浩
- 关键词：金刚石线锯
- 文献传递
- 金刚石线锯切割多晶硅片气相刻蚀制绒方法研究进展
- 我们近年来实验以酸蒸汽代替酸液来对金刚石切割多晶硅片进行刻蚀制绒,在逾千次试验中掌握了刻蚀制绒形貌控制条件,在工艺稳定性上也取得了进展.本报告介绍近一年来的研究进展,并就其产业化推进需要解决的问题作初步归纳.
- 肖志刚陈文浩耿国营周浪
- 金刚石线锯切割多晶硅片的气相刻蚀制绒研究（英文）被引量：2
- 2015年
- 采用气相刻蚀制绒法研究金刚石线锯切割多晶硅片制绒.加热体积比1:3、总体积400mL的HF-HNO3酸混合溶液到90℃,使酸混合溶液受热产生气相,利用气相对金刚石线锯切割多晶硅片表面进行制绒.结果表明,制绒15min之后,硅片表面的切割纹被完全去除;小腐蚀坑密布硅片表面,尺寸小于1μm,而传统湿法酸制绒所形成的腐蚀坑尺寸大于10μm.气相刻蚀后的金刚石线锯切割多晶硅片表面的微观粗糙度比传统酸混液制绒后的金刚石线锯切割多晶硅片表面的微观粗糙度高3倍多.气相制绒效果明显,并仅有12.11%的低反射率.
- 刘小梅陈文浩李妙周浪
- 关键词：多晶硅反射率
- 金刚石线锯切割多晶硅片的气相制绒研究被引量：2
- 2014年
- 采用气相制绒方法对金刚石切割多晶硅片进行表面制绒.2g硅加到HF-HNO3-H2O(400mL,体积比为6:3:1)的酸混合溶液中在室温下反应产生气相,利用气相对金刚石切割多晶硅片表面进行制绒研究.制绒4min时,硅片表面的切割纹被完全去除、大坑套小坑的蜂窝状蚀坑密布硅片表面,减反效果显著,反射率低至19.51%.气相制绒后的金刚石切割多晶硅片表面的微观粗糙度比传统酸混合溶液制绒后的高约20%.
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- 关键词：反射率多晶硅
- 金刚石切割多晶硅片切割痕性质与消除方法研究被引量：9
- 2014年
- 金刚石线锯切割多晶硅片表面存在两种尺度的切割痕纹：由锯线往复运动形成的周期在亚毫米尺度的往复纹，和由金刚石划出的宽度在微米尺度的划痕。金刚石切割硅片的微观粗糙度比砂浆切割硅片小～25％。金刚石切割硅片相对粗糙表观以及往复纹的呈现都来自于光滑划痕的视觉增强作用。酸刻蚀制绒不能消除金刚石切割硅片表面切割痕纹；碱刻蚀只能消除部分晶粒之上的切割痕纹。尝试了一种气相酸刻蚀方法，取得了彻底消除金刚石切割硅片表面切割痕纹的效果，同时获得了良好的制绒效果，但其均匀性有待改善。
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- 关键词：金刚石线锯多晶硅
- 晶体硅太阳电池先进背钝化技术的研究及其应用
- 硅基太阳电池占据着太阳电池行业的主流市场地位，其正表面结构已基本完善，而背表而的优化成为关注的焦点。进一步改善电池背表而的钝化结构有助于获得更佳的电学性能表现。目前最为流行的两种背钝化方案可通过背表面接触结构区分为使用绝...
- 陈文浩
- 关键词：晶体硅太阳电池气相沉积法电学性能
- 金刚石线锯切割多晶硅片表面特性与酸刻蚀制绒问题被引量：8
- 2014年
- 为解决金刚石切割多晶硅片与常规HF-HNO3-H2O混合酸湿法制绒技术不兼容的问题，对金刚石切割多晶硅片的表面特性和大幅度提高混合酸溶液中HF的比例进行了刻蚀制绒实验．结果表明，金刚石线切割多晶硅片表面存在约33％的光滑条带区域，其余为与砂浆切割硅片表面相近的粗糙崩坑区域；这些光滑区域使得金刚石切割多晶硅片表面光反射率比砂浆切割多晶硅片高3％～4％；而且光滑区域在富HN0。和富HF的HF—HNO3-H2O混合酸溶液中均较难于腐蚀，使其刻蚀制绒后反射率比砂浆切割多晶硅片低1％～2％，制绒后的金刚石切割多晶硅片反射率比制绒后的砂浆切割多晶硅片高4％～6％，不能满足太阳电池生产要求．富HNO3和富HF两种酸刻蚀体系，均不能解决金刚石切割多晶硅片的制绒问题．
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- 关键词：多晶硅金刚石线锯反射率
- 低成本多晶双面PERC电池技术
- 通过将PERC电池的全铝背极结构替换为铝栅线结构，可实现双面发电;使用特殊铝浆直接穿透背钝化膜形成局部铝背场，去除激光开孔步骤，可有效降低工艺成本;双面PERC电池正面效率高达19.66％，背面效率可达12.65%;批量...
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- 关键词：太阳能电池性能表征
- 一种太阳电池用多晶硅片的微液滴刻蚀制绒方法
- 一种太阳电池用多晶硅片的微液滴刻蚀制绒方法，通过密布多晶硅片表面的混合酸溶液微液滴与硅进行化学反应来刻蚀多晶硅片表面的方法。微液滴通过加热混合酸溶液产生的蒸气在一定温度条件下的多晶硅片表面凝结而成。混合酸溶液由硝酸、氢氟...
- 周浪肖志刚陈文浩耿国营
- 文献传递
- 金刚石线锯切割多晶硅片气相刻蚀制绒方法研究进展
- 背景介绍?金刚石线切割技术用于硅片切割优势明显切割效率高、精度高、表面机械损伤浅...?用于切割多晶硅片问题突出线耗高、减反制绒难奏效,切割痕难以消除、碎片率可能偏高...多晶硅常规酸性湿法制绒 前期工作 两种气相刻蚀 ...
- 陈文浩刘小梅肖志刚岳之浩周浪
