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徐栋
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4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北方通用电子集团有限公司
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合作作者
王鹏
北方通用电子集团有限公司
何凯旋
北方通用电子集团有限公司
郑宇
北方通用电子集团有限公司
方岚
北方通用电子集团有限公司
黄斌
北方通用电子集团有限公司
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SOI高线性度压力传感器设计与分析
2013年
使用SOI硅片材料,采用选择性自停止腐蚀工艺,设计了一种具有高线性度的压力传感器。该压力传感器包括压力敏感膜及其上的四个压敏电阻,压敏电阻通过离子注入扩散布局在压力敏感膜的四边中间位置,通过对压敏电阻的长、宽、结深和在膜上的位置等的综合分析,确立压力传感器线性度最优的设计方案。通过建立的理论模型,并利用COVENTORWARE软件对传感器模型进行模拟分析和验证,仿真结果表明,压力传感器在700kPa时的最大非线性度为0.148%,灵敏度为0.1mv/kPa,具有较高的性能。
汪祖民
郭群英
徐栋
王鹏
何凯旋
熊爱武
关键词:
线性度
SOI
压力传感器
MEMS加速度计微电容检测技术研究
2014年
从MEMS电容式加速度计基本原理入手,介绍了电容检测电路在传感器测控中的作用,并针对微电容检测时外部信号调节模式不同,归纳并分析了电桥法、电容分压检测法、调制型检测电路和开关电容检测电路等典型实用的微电容检测方法,对设计高灵敏度的电容检测电路提供了理论依据。
方岚
郑宇
徐栋
关键词:
电容式加速度计
电容检测
差动电容
调制
开关电容
一种压阻式高g值加速度计的校准方法
2014年
详细介绍了一种检测自制高g值加速度传感器的技术。利用Hopkinson杆装置进行检测,对检测数据包括电压U与g值进行线性拟合,根据拟合直线来标定自由落体冲击装置的恢复系数k,达到校准整个自由落体冲击装置的目的。
郑宇
方岚
谢斌
徐栋
展明浩
关键词:
HOPKINSON杆
“三明治”MEMS加速度计的设计与分析
被引量:1
2013年
基于体硅微机械加工技术,设计分析了一种抗冲击“三明治”电容式MEMS加速度计。利用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构,在有效提高加速度计灵敏度的同时,减小了寄生电容的干扰,提高了加速度计的测量精度,并对悬臂梁的抗冲击性能做了仿真分析,保证了加速度计工作的可靠性。经仿真与理论计算分析表明,该加速度计在Z轴向的灵敏度为0.125pF/g,谐振频率为4.9kHz,量程为±50g,抗冲击性能可达15000g。
王鹏
徐栋
何凯旋
王文婧
陈博
陈璞
黄斌
关键词:
电容加速度计
抗冲击
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