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文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

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主题

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  • 1篇开关电容

机构

  • 4篇北方通用电子...

作者

  • 4篇徐栋
  • 2篇何凯旋
  • 2篇王鹏
  • 2篇方岚
  • 2篇郑宇
  • 1篇郭群英
  • 1篇陈博
  • 1篇王文婧
  • 1篇展明浩
  • 1篇熊爱武
  • 1篇陈璞
  • 1篇黄斌
  • 1篇汪祖民
  • 1篇谢斌

传媒

  • 3篇集成电路通讯
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 2篇2014
  • 2篇2013
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
SOI高线性度压力传感器设计与分析
2013年
使用SOI硅片材料,采用选择性自停止腐蚀工艺,设计了一种具有高线性度的压力传感器。该压力传感器包括压力敏感膜及其上的四个压敏电阻,压敏电阻通过离子注入扩散布局在压力敏感膜的四边中间位置,通过对压敏电阻的长、宽、结深和在膜上的位置等的综合分析,确立压力传感器线性度最优的设计方案。通过建立的理论模型,并利用COVENTORWARE软件对传感器模型进行模拟分析和验证,仿真结果表明,压力传感器在700kPa时的最大非线性度为0.148%,灵敏度为0.1mv/kPa,具有较高的性能。
汪祖民郭群英徐栋王鹏何凯旋熊爱武
关键词:线性度SOI压力传感器
MEMS加速度计微电容检测技术研究
2014年
从MEMS电容式加速度计基本原理入手,介绍了电容检测电路在传感器测控中的作用,并针对微电容检测时外部信号调节模式不同,归纳并分析了电桥法、电容分压检测法、调制型检测电路和开关电容检测电路等典型实用的微电容检测方法,对设计高灵敏度的电容检测电路提供了理论依据。
方岚郑宇徐栋
关键词:电容式加速度计电容检测差动电容调制开关电容
一种压阻式高g值加速度计的校准方法
2014年
详细介绍了一种检测自制高g值加速度传感器的技术。利用Hopkinson杆装置进行检测,对检测数据包括电压U与g值进行线性拟合,根据拟合直线来标定自由落体冲击装置的恢复系数k,达到校准整个自由落体冲击装置的目的。
郑宇方岚谢斌徐栋展明浩
关键词:HOPKINSON杆
“三明治”MEMS加速度计的设计与分析被引量:1
2013年
基于体硅微机械加工技术,设计分析了一种抗冲击“三明治”电容式MEMS加速度计。利用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构,在有效提高加速度计灵敏度的同时,减小了寄生电容的干扰,提高了加速度计的测量精度,并对悬臂梁的抗冲击性能做了仿真分析,保证了加速度计工作的可靠性。经仿真与理论计算分析表明,该加速度计在Z轴向的灵敏度为0.125pF/g,谐振频率为4.9kHz,量程为±50g,抗冲击性能可达15000g。
王鹏徐栋何凯旋王文婧陈博陈璞黄斌
关键词:电容加速度计抗冲击灵敏度
共1页<1>
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