闫学锋
- 作品数:26 被引量:6H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信农业科学一般工业技术更多>>
- 一种制作声表面波传感器敏感膜的方法
- 本发明公开了一种制作声表面波传感器敏感膜的方法,是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上,通过电子束蒸发和剥离光刻胶形成敏感膜,该敏感膜是由TiO<Sub>2</Sub>和WO<Sub>3</Sub>构成的聚合敏感膜。利用本发...
- 李冬梅汪幸刘明周文侯成诚闫学锋谢常青霍宗亮张满红
- 文献传递
- Ar/O_2等离子体处理烟草中主要化学成分的初步研究
- 2008年
- 为了优化调制烟叶中的化学成分,采用了低温常压Ar/O2等离子体处理方法结合近红外光谱分析,对烟草考察了不同放电时间的处理效果。结果显示:等离子体处理后,烟碱等主要的五种化学成分的含量随处理时间的增加均有改变。因此,需要对输入气体、放电电压、放电距离等更多的影响因素进行深入研究,达到提高烟叶品质的目的。
- 闫学锋王守国赵玲利
- 关键词:烟草等离子体
- 一种制作半导体薄膜的方法
- 本发明公开了一种制作半导体薄膜的方法,该方法是在声表面波气体传感器的制造过程中,在双延迟线型振荡器的一条延迟线上滴涂碳纳米管与酞菁锌的混合溶液,并真空烘干而形成敏感膜的。因为通过将酞菁锌作为敏感材料去尝试制作敏感膜,使得...
- 李冬梅汪幸刘明周文侯成诚闫学锋谢常青霍宗亮
- 四乙醇乙二胺掺杂研磨的多壁碳纳米管敏感膜的制作方法
- 本发明公开了一种制作四乙醇乙二胺掺杂研磨的多壁碳纳米管敏感膜的方法,用于检测SO<Sub>2</Sub>气体,该方法包括:将研磨的多壁碳纳米管加入四乙醇乙二胺中,制成多壁碳纳米管与四乙醇乙二胺的混合溶液;对该多壁碳纳米管...
- 李冬梅汪幸刘明周文侯成诚闫学锋谢常青
- 文献传递
- 声表面波气体传感器及其制作方法
- 本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法,该声表面波气体传感器用于探测NO<Sub>2</Sub>气体的浓度,该方法包括:提供基底,所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器;在所述...
- 李冬梅周文刘明谢常青侯成诚汪幸闫学锋
- 一种制作声表面波传感器双层敏感膜的方法
- 本发明公开了一种制作声表面波传感器双层敏感膜的方法,该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上电子束蒸发ZnO粉末制作ZnO薄膜,然后在该ZnO薄膜上滴涂经过研磨的均匀分散的多壁碳纳米管溶液,并真空烘干形成ZnO和MWCN...
- 李冬梅汪幸刘明周文侯成诚闫学锋谢常青
- 文献传递
- 聚苯胺—多壁碳纳米管薄膜SAW NO_2传感器被引量:6
- 2011年
- 将聚苯胺—多壁碳纳米管聚合物沉积于声表面波(SAW)气体传感器的敏感区,形成敏感薄膜,实现了室温下对不同体积分数NO2的检测。研究表明:这种传感器具有很高的敏感性,良好的重复性和低体积分数检测极限。同时,单一聚苯胺薄膜也做了对比测量,实验结果表明:聚苯胺—多壁碳纳米管聚合物敏感膜比单一聚苯胺薄膜具有更高的敏感性和更短的恢复时间。
- 周文闫学锋侯成诚李冬梅刘明陈军宁
- 关键词:声表面波聚苯胺多壁碳纳米管气体传感器
- 声表面波气体传感器及其制作方法
- 本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法,该声表面波气体传感器用于探测NO<Sub>2</Sub>气体的浓度,该方法包括:提供基底,所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器;在所述...
- 李冬梅周文刘明谢常青侯成诚汪幸闫学锋
- 文献传递
- 一种聚噻吩与氧化锆复合敏感膜的制作方法
- 本发明公开了一种聚噻吩与氧化锆复合敏感膜的制作方法,用于检测SO<Sub>2</Sub>气体,该方法包括:将聚噻吩与氧化锆混合溶于乙醇中,制成聚噻吩与氧化锆的混合溶液;对该聚噻吩与氧化锆的混合溶液进行超声振荡;在双延迟线...
- 李冬梅周文刘明谢常青侯成诚汪幸闫学锋
- 文献传递
- 一种用于声表面波传感器的半导体薄膜的成膜方法
- 本发明公开了一种用于声表面波传感器的半导体薄膜的成膜方法,该方法包括:制备半导体氧化物溶胶和聚吡咯溶液,并将二者混合,经过剧烈搅拌及过滤后得到用于成膜的混合溶液;以及对基片进行清洁及干燥处理,将处理后的基片浸入该用于成膜...
- 叶甜春闫学锋李冬梅刘明侯成诚周文汪幸谢常青霍宗亮张满红龙世兵
- 文献传递