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汪幸
作品数:
27
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
一般工业技术
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所
周文
安徽大学电子信息工程学院
李冬梅
中国科学院微电子研究所
侯成诚
安徽大学
闫学锋
中国科学院微电子研究所
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中国科学院微...
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安徽大学
作者
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汪幸
26篇
李冬梅
26篇
周文
26篇
刘明
25篇
侯成诚
24篇
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23篇
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15篇
2012
4篇
2011
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声表面波气体传感器及其制作方法
本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法,该声表面波气体传感器用于探测NO<Sub>2</Sub>气体的浓度,该方法包括:提供基底,所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器;在所述...
李冬梅
周文
刘明
谢常青
侯成诚
汪幸
闫学锋
文献传递
一种制作半导体薄膜的方法
本发明公开了一种制作半导体薄膜的方法,该方法是在声表面波气体传感器的制造过程中,在双延迟线型振荡器的一条延迟线上滴涂碳纳米管与酞菁锌的混合溶液,并真空烘干而形成敏感膜的。因为通过将酞菁锌作为敏感材料去尝试制作敏感膜,使得...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
谢常青
霍宗亮
四乙醇乙二胺掺杂研磨的多壁碳纳米管敏感膜的制作方法
本发明公开了一种制作四乙醇乙二胺掺杂研磨的多壁碳纳米管敏感膜的方法,用于检测SO<Sub>2</Sub>气体,该方法包括:将研磨的多壁碳纳米管加入四乙醇乙二胺中,制成多壁碳纳米管与四乙醇乙二胺的混合溶液;对该多壁碳纳米管...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
谢常青
文献传递
一种制作声表面波传感器敏感膜的方法
本发明公开了一种制作声表面波传感器敏感膜的方法,是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上,通过电子束蒸发和剥离光刻胶形成敏感膜,该敏感膜是由TiO<Sub>2</Sub>和WO<Sub>3</Sub>构成的聚合敏感膜。利用本发...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
谢常青
霍宗亮
张满红
文献传递
一种聚噻吩与氧化锆复合敏感膜的制作方法
本发明公开了一种聚噻吩与氧化锆复合敏感膜的制作方法,用于检测SO<Sub>2</Sub>气体,该方法包括:将聚噻吩与氧化锆混合溶于乙醇中,制成聚噻吩与氧化锆的混合溶液;对该聚噻吩与氧化锆的混合溶液进行超声振荡;在双延迟线...
李冬梅
周文
刘明
谢常青
侯成诚
汪幸
闫学锋
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一种用于声表面波传感器的半导体薄膜的成膜方法
本发明公开了一种用于声表面波传感器的半导体薄膜的成膜方法,该方法包括:制备半导体氧化物溶胶和聚吡咯溶液,并将二者混合,经过剧烈搅拌及过滤后得到用于成膜的混合溶液;以及对基片进行清洁及干燥处理,将处理后的基片浸入该用于成膜...
叶甜春
闫学锋
李冬梅
刘明
侯成诚
周文
汪幸
谢常青
霍宗亮
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龙世兵
文献传递
一种制作高选择性半导体薄膜材料的方法
本发明公开了一种制作高选择性半导体薄膜材料的方法,该方法包括:步骤1:将5至15mg的多壁碳纳米管与50至100mg的SnO<Sub>2</Sub>均匀混合溶于一定量的甘油;步骤2:充分搅拌后在60℃下超声振荡两个小时使...
李冬梅
周文
刘明
侯成诚
汪幸
闫学锋
谢常青
霍宗亮
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一种制作半导体薄膜材料的方法
本发明公开了一种制作半导体薄膜材料的方法,该方法是在声表面波气体传感器的制造过程中,在双延迟线型振荡器的一条延迟线上滴涂三乙醇胺与碳纳米管的混合溶液,并真空烘干而形成敏感膜的。本发明通过将研磨的碳纳米管加入三乙醇胺中配制...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
谢常青
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一种制作声表面波传感器敏感膜的方法
本发明公开了一种制作声表面波传感器敏感膜的方法,该方法是在双延迟线型振荡器的一条延迟线上,滴涂混合溶液并真空烘干而形成,该混合溶液是在TiO<Sub>2</Sub>胶体溶液中均匀分散聚苯胺PAn粉末形成的。本发明提供的这...
李冬梅
汪幸
刘明
周文
侯成诚
闫学锋
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叶甜春
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一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法
本发明公开了一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法,该方法是由TiO<Sub>2</Sub>掺杂CuPc作为敏感材料,通过混合和压制形成TiO<Sub>2</Sub>与CuPc混合材料,电子束蒸发该TiO<...
李冬梅
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