薛前进
- 作品数：4 被引量：10H指数：2
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- 微/纳米复合金刚石自支撑膜的制备及气相研究
- 薛前进
- 微纳米复合金刚石自支撑膜的制备及微观结构的研究被引量：2
- 2008年
- 在30 kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在多晶钼衬底上制备了微纳米复合多层金刚石自支撑膜。采用拉曼光谱对其进行成份分析、SEM观察膜体表面形貌,采用聚焦离子束(FIB)技术对其进行原位刻蚀,用高分辨电镜观察对其进行微观表征。结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面,微/纳米复合多层金刚石自支撑膜中包含有纳米级金刚石晶粒、微米级金刚石晶粒和无定形碳。
- 薛前进黄玲陈广超李彬唐伟忠李成明宋建华黑立富佟玉梅
- 关键词：化学气相沉积多层结构微观结构
- 直流等离子体喷射CVD技术制备自支撑金刚石膜的新结构和新形貌(英文)被引量：8
- 2007年
- 采用30kW高功率直流等离子体喷射CVD技术制备了自支撑金刚石膜的新型结构,通过使甲烷与氢气的浓度比随沉积时间变化的方法,制备了两层、三层和四层结构。扫描电镜结果显示所制备的层结构是由柱状晶和非常细晶粒组成的,而拉曼谱结果表明这层细晶粒具有纳米金刚石的激光散射特征。在甲烷与氢气的浓度比超过15%的沉积条件下,我们发现一种新形貌,这种形貌是由具有非常好的刻面的晶粒构成的。
- 陈广超兰昊李彬戴风伟薛前进J.C.Askari宋建华黑立富李成名吕反修
- 关键词：金刚石膜层结构刻面
- 直流电弧喷射等离子体分束器
- 一种直流电弧喷射等离子体分束器，属于直流电弧喷射等离子技术领域。由遮蔽板、支杆、底座、封闭栓组成；在底座上安装可以调节高度的支杆，支杆上安置采用高熔点材料制成的遮蔽板，在遮蔽板上间隔开出可开闭的束流孔；遮蔽板(1)与封闭...
- 陈广超李彬薛前进杰·阿斯卡瑞唐伟忠李成明宋建华黑立富佟玉梅吕反修
- 文献传递
