陈广超
- 作品数：69 被引量：164H指数：8
- 供职机构：中国科学院大学材料科学与光电技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
- 大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用
- 大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一.在军事和民用光学领域有非常重要的应用前景.本文综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展.给出了采用高功率直...
- 吕反修唐伟忠李成明陈广超佟玉梅宋建华
- 关键词：光学性能热学性能机械性能微波介电性能
- 文献传递
- CVD金刚石自支撑膜的力学性能被引量：2
- 2011年
- CVD金刚石自支撑膜已经作为一种崭新的工程材料出现,其应用日益广泛,急切需要对其力学行为进行深入了解。为此对有关金刚石膜的断裂强度和断裂韧度的研究,以及金刚石膜的断裂机制进行了详尽的论述。简略介绍了金刚石膜的断裂强度和断裂韧度的测试方法,给出了典型的测试数据。最后就如何提高金刚石膜的力学性能和更好地应用这种新型工程材料提出了建议。
- 吕反修宋建华唐伟忠黑立富李成明陈广超
- 关键词：力学性能断裂韧度
- DC Arc Plasma Jet CVD自支撑金刚石膜表面形貌的研究被引量：1
- 2007年
- 本文采用30kW级直流电弧等离子体喷射法沉积自支撑金刚石膜,研究了大进气量条件下不同的甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌及晶面取向的影响,当甲烷浓度达到一定程度时,出现纳米二次晶的形核,晶粒细化,微米金刚石转变成为纳米金刚石。同时不同的氩氢配比对金刚石膜的表面形貌也产生一定的影响。在高甲烷浓度的情况下,可以得到一种具有(111)取向的微米级金刚石膜。结果表明,随着甲烷浓度和氩氢比(Ar/H2)的增加,金刚石膜表面晶粒尺寸是呈逐渐减小趋势的,此外,通过控制甲烷浓度可以得到(111)晶面的高取向金刚石膜,当甲烷浓度为20%时,金刚石膜表面晶粒的(111)晶面可以达到高取向。
- 戴风伟陈广超兰昊J.Askari宋建华李成明佟玉梅李彬黑立富唐伟忠吕反修
- 关键词：表面形貌
- 含金刚石的复相过渡层及Al_2O_3衬底上金刚石薄膜的附着力被引量：4
- 2004年
- 采用微波等离子体化学气相沉积的方法,以H_2和八甲基环四硅氧烷(D_4)为原料,在H_2(Ⅱ):H_2(Ⅰ,为带动D_4的载气)的流量比23:1,P=5332.88Pa,Ts=850℃左右的工艺条件下,制备了含有金刚石及一定量SiO_2和SiC的复相薄膜。初步的实验结果表明,金刚石相可在该复相薄膜上继续生长,进而形成高质量的金刚石薄膜。同时,与在Al_2O_3衬底上直接沉积的金刚石涂层相比,采用上述复相薄膜作为过渡层可明显地提高金刚石涂层对于Al_2O_3陶瓷衬底的附着力。
- 赵中琴唐伟忠苗晋琦吕反修李成明陈广超杨志威
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜过渡层MPCVD
- 磁控溅射铜膜与基底结合强度的分析研究被引量：3
- 2016年
- 根据磁控溅射金属铜膜在超声清洗中从硅基底上发生剥落的现象,分析了样品在声场中的运动和受力状态,发现样品会发生受迫振动,拉-拉周期应力引起膜基界面的失效是薄膜脱落的主要原因,而空化作用是次要原因。通过建立的力学模型,计算了膜基结合强度。与划痕法等所测得的膜基结合强度值的比较,计算值与测量值在数量级和与溅射参数变化趋势上有很好的吻合。此评价方法可以应用于溅射铜膜/多晶金刚石的膜基体系上,并研究了超声参数、基底表面形貌、基底成份等因素对膜基结合强度的影响。
- 李佳君刘浩左永刚白旸袁禾蔚何其宇姜龙郭辉孙振路陈广超
- 关键词：材料检测与分析技术超声清洗受迫振动磁控溅射铜薄膜
- 一种金刚石涂层Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>电子陶瓷基片制备技术
- 本发明提供了一种金刚石涂层Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>电子陶瓷基片制备技术，其特征在于：首先采用等离子体CVD技术，制备一种含有金刚石相的复相过渡层，过渡层的制备是以含有碳、氢、硅、氧元素的气体...
- 唐伟忠赵中琴吕反修李成明陈广超佟玉梅
- 文献传递
- 金刚石单晶的化学气相沉积制备及其在粒子探测器件中的应用被引量：7
- 2012年
- 自2002年世界上第一颗采用化学气相沉积(CVD)方法制备的大尺寸金刚石单晶被报道之后,碳材料领域在世界范围内再一次掀起了CVD金刚石的研究热潮,单晶CVD金刚石也成为与石墨烯研究热度相当的又一种碳材料。几乎同时,将这种优异的材料在各个可能的相关领域进行应用的研究也随之被广泛地开展起来,这些研究工作逐渐表明:在新世纪单晶CVD金刚石将在能源、太空、信息等领域得到广泛的应用,其对社会生活、国家安全和科技进步将产生巨大的影响。本文在结合我们自己的工作基础上,综述了国内、外在单晶CVD金刚石制备领域的进展及其在粒子探测器件领域的应用。
- 李彬李宏吕反修陈广超
- 关键词：化学气相沉积金刚石单晶探测器
- 沉积参数对CVD金刚石晶粒尺寸的影响被引量：2
- 2007年
- 采用DC Arc Plasma Jet CVD方法制备了金刚石自支撑膜体,考察了温度分布、沉积腔压和CH4/H2等沉积参数对所制备金刚石膜体中的晶粒尺寸的影响.实验发现沿温度降低的方向和增加腔压会使晶粒尺寸变大,当CH4/H2超过15%后,有带刻面的晶粒出现.本次实验最大的晶粒对角线长度超过1mm.
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- 关键词：金刚石晶粒尺寸
- 贫氢富氩气氛下超纳米金刚石薄膜的生长(英文)被引量：6
- 2013年
- 利用微波等离子气相沉积法在5%～20%的氢气浓度下,制备出了超纳米金刚石薄膜(UNCD)。利用扫描电子显微镜、XRD、表面轮廓仪及拉曼光谱研究了氢气浓度对超纳米金刚石薄膜的微结构、形貌、以及相组成的影响。结果表明,随着氢气浓度的增加,晶粒粒径及粗糙度都明显增加变大;在不大于10%的氢气浓度气氛下,可以发现晶粒粒径下降到6nm,甚至更低;即便氢气浓度达到20%,晶粒粒径仍然小于10 nm。讨论了在富氩气氛下沉积的UNCD的实验结果以及沉积机制。这种极其光滑的UNCD薄膜有望在医疗,声表面波器件以及微机电系统,尤其是在重载和恶劣环境下作为超级密封材料的应用。
- 刘杰黑立富陈广超李成明唐伟忠吕反修
- 直流喷射电弧等离子体制备金刚石单晶的研究被引量：3
- 2012年
- 通过利用光发射谱技术,探测了大功率直流喷射电弧等离子体增强化学气相沉积方法中沉积区域的气相激元分布,进而优选了金刚石生长的位置。在沉积过程中,不断使衬底做背向等离子体的运动,实现了大颗粒金刚石的连续生长,颗粒尺寸达到约1 mm3。采用劳厄背反射X射线衍射测试技术和拉曼谱技术,对所制备的样品进行了测试,结果表明:所制备的颗粒为金刚石单晶。对于大尺寸衬底,研究了背向运动速度对沉积晶体的形貌和质量的影响,发现了ATG型不稳定形貌。
- 李彬闫占奇李浩韩晓泉吕反修陈广超李宏
- 关键词：等离子体化学气相沉积金刚石单晶
