胡洋洋
- 作品数:35 被引量:110H指数:7
- 供职机构:中国电子科技集团第二十八研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金江苏省自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺电子电信化学工程电气工程更多>>
- 金属Micro/Meso结构器件制造技术被引量:3
- 2006年
- 具有特定功能或满足特定需要的复杂形状金属micro/meso结构器件的加工,是非硅基MEMS制造和微细加工领域的一项重要内容。论述了制造金属micro/meso结构器件的几种常用加工技术(精密机械加工技术、LIGA和LIGA-like技术、微细电火花加工技术、微细电解加工技术和选择性电沉积技术等)及其工艺进展,并分析了它们的优缺点。
- 明平美胡洋洋曾永彬
- 关键词:微细加工
- 无人机操控显控台
- 1.本外观设计产品的名称:无人机操控显控台。;2.本外观设计产品的用途:存放并为电子设备提供工作环境,同时兼具储物功能。;3.本外观设计产品的设计要点:在于形状与图案的结合。;4.最能表明设计要点的图片或照片:主视图。;...
- 薛毅张桂义徐玉双郭木铎卫颖胡洋洋周远远陈瑶光
- 基于BP神经网络的SU-8光刻胶工艺参数优选研究被引量:8
- 2006年
- SU-8是一种性能优异的厚胶,广泛应用于高深宽比的MEMS微结构中。本文首先用正交试验研究了前烘时间、曝光剂量、后烘时间以及显影时间对SU-8光刻胶图形尺寸精度的影响,得到了优化的工艺组合。在此基础上,运用BP神经网络对试验数据进行分析处理,预测了较正交试验分析结果更为优化的工艺组合,并用试验验证了其正确性。结果表明,经正交试验数据训练过的BP神经网络,很好地映射了工艺参数与优化指标之间的复杂非线性关系,此时应用BP神经网络对工艺参数进行优选研究能够得到更全面、准确的结果。
- 曾永彬朱荻明平美胡洋洋
- 关键词:MEMSSU-8正交试验BP神经网络
- 一种组合化方舱舱间搭接的密封装置
- 本实用新型公开了一种组合化方舱舱间搭接的密封装置,包括与左侧方舱顶板连接的第一型材、与右侧方舱顶板连接的第二型材、第一密封件、第二密封件,以及第三密封件;第一型材包括用于连接左侧方舱顶板的第一型腔,第一型腔的一侧通过第一...
- 吕路赵德高李强万峻麟常建伟康保利龚水莲胡洋洋耿嘉嵩章琦丁有永
- 文献传递
- 一种组合化扩展方舱
- 本实用新型公开了组合化扩展方舱,包括主舱顶板、主舱底板、主舱前端板以及主舱后端板构成的整体框架结构,剩余两面分别设置与主舱顶板连接的主舱左侧板和主舱右侧板;主舱左侧板和主舱右侧板分别对应铰接左侧舱顶板和右侧舱顶板,主舱底...
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- 文献传递
- 屏蔽模板随动式微细电铸技术
- 介绍屏蔽模板随动式微细电铸技术,该技术利用屏蔽模板动态的限制电沉积的区域,利用低深宽比的屏蔽模板加工高深宽比的金属微结构,并且不存在去胶等难题,是一种简单易行、低成本的金属微结构制造方法。
- 曾永彬朱荻曲宁松胡洋洋明平美
- 关键词:电铸高深宽比微结构
- 文献传递
- 基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究被引量:12
- 2006年
- 试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明:采用优化后的UV-LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流道)轮廓清晰,表面质量好,无明显缺陷,与基底结合良好。
- 明平美朱荻胡洋洋曾永彬
- 关键词:微结构器件SU-8胶光刻
- 一种基于人因工程的智能操控台
- 本发明公开了一种基于人因工程的智能操控台,包括操作席位按键、控制机构、外罩以及控制器;所述操作席位按键设置在外罩侧面,所述控制机构位于外罩内部后端,所述控制机构位于外罩内部前端;操作席位按键、控制机构以及控制器通过电路连...
- 任勇李盛蔚李林林王克楠胡洋洋周远远巨小龙张林林薛毅张桂义蔡亮
- 高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具
- 一种高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具,属高深宽比金属微结构制造工艺方法及装置技术领域。该方法是利用金属网板作为专用工具,在工控机的控制下,使专用工具和工件阳极做相向运动进行电解加工,其特征在于:所述的作...
- 胡洋洋朱荻曲宁松
- 文献传递
- UV-LIGA制作微细群电极工艺研究被引量:4
- 2008年
- 微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率。研究了UV-LIGA制作微工具电极的技术。以金属为基底,采用UV-LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1 mm的SU-8胶结构,最大深宽比达10∶1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极。
- 胡洋洋朱荻曾永彬明平美
- 关键词:SU-8胶高深宽比微细群电极