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陈佩佩

作品数：45 被引量：22H指数：3
供职机构：国家纳米科学中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目更多>>
相关领域：医药卫生文化科学机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 36篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 4篇医药卫生
  • 4篇文化科学
  • 3篇机械工程
  • 2篇化学工程
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇生物学
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 17篇纳米
  • 15篇拉曼
  • 15篇衬底
  • 13篇表面增强拉曼
  • 8篇电子束曝光
  • 8篇光学
  • 7篇拉曼散射
  • 6篇刻蚀
  • 5篇芯片
  • 5篇灵敏度
  • 5篇敏度
  • 5篇均一性
  • 5篇抗蚀剂
  • 5篇硅衬底
  • 5篇表面增强拉曼...
  • 4篇等离子体共振
  • 4篇电子束
  • 4篇电子束抗蚀剂
  • 4篇定影
  • 4篇原子力显微镜

机构

  • 45篇国家纳米科学...
  • 2篇南方医科大学
  • 1篇长春理工大学
  • 1篇南开大学
  • 1篇北京医院
  • 1篇郑州大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国环境监测...
  • 1篇北京协和医院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 45篇陈佩佩
  • 36篇褚卫国
  • 22篇田毅
  • 20篇闫兰琴
  • 18篇胡海峰
  • 14篇董凤良
  • 14篇徐丽华
  • 8篇韩东
  • 7篇孙全梅
  • 6篇宋志伟
  • 6篇陈龙
  • 4篇李志琴
  • 3篇廖福龙
  • 2篇赵克森
  • 2篇李静
  • 1篇冯喜增
  • 1篇敖卓
  • 1篇殷伯华
  • 1篇刘广源
  • 1篇牟达

传媒

  • 2篇电子显微学报
  • 1篇医用生物力学
  • 1篇科学通报
  • 1篇中华医学杂志
  • 1篇光学学报
  • 1篇中国病理生理...
  • 1篇中国中西医结...

年份

  • 4篇2024
  • 3篇2023
  • 9篇2022
  • 6篇2021
  • 6篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 5篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 45 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种传感芯片及其制备方法
本发明提供一种传感芯片及其制备方法。所述传感芯片包括衬底和传感层，所述传感层包括SERS活性纳米颗粒和负载材料。本发明提供的拉曼散射芯片具有对氨气检测灵敏度高、检测限低、适用工作环境广等优点，易于实现芯片的批量制备，在环...
乔治陈佩佩胡海峰田毅周一轩胡俊言褚卫国
一种介质增强拉曼散射芯片及其制备方法与应用
本发明提供一种介质增强拉曼散射芯片及其制备方法与应用，所述介质增强拉曼散射芯片包括层叠设置的衬底和金属层；所述衬底和金属层之间还设置有周期性阵列的介质纳米结构；所述介质纳米结构的周期性阵列单元之间彼此独立。所述制备方法包...
陈佩佩褚卫国田毅胡海峰
一种变截面硅孔和硅通道的刻蚀方法
本发明涉及微米纳米级材料加工技术领域，尤其涉及一种变截面硅孔和硅通道的刻蚀方法。本发明的变截面硅孔和硅通道的刻蚀方法的工艺可控性强，可重复性好，通过光刻、各向异性垂直干法刻蚀、各向同性沉积、各向同性干法刻蚀、去胶步骤后，...
徐丽华陈佩佩褚卫国
文献传递
一种表面增强拉曼散射芯片及其制备方法与应用
本发明提供一种表面增强拉曼散射芯片及其制备方法与应用，所述表面增强拉曼散射芯片包括衬底和设置于所述衬底表面周期性阵列的介质纳米结构；所述介质纳米结构的侧壁和衬底的上表面设置有金属层；所述衬底的上表面为设置有介质纳米结构的...
陈佩佩褚卫国胡海峰田毅
一种硅表面制作密度可调的锥状陷光结构的方法及制得的黑硅
本发明涉及一种硅表面制作密度可调的锥状陷光结构的方法及制得的黑硅，所述方法包括：1)采用等离子体处理方法，对硅片进行表面处理，在硅片表面形成点状非连续SiO<Sub>x</Sub>掩膜，处理时间决定黑硅锥状结构的密度；2...
徐丽华褚卫国陈佩佩闫兰琴
文献传递
一种表面增强拉曼基底及其制备方法
本发明提供了一种表面增强拉曼基底的制备方法，所述方法包括以下步骤：在基片上制备银膜，得到镀银基片；将所述镀银基片进行等离子体干法刻蚀，得到多孔结构的表面增强拉曼基底。此方法可制备颗粒度大小可调的银多孔结构，无需任何掩膜，...
徐丽华褚卫国陈佩佩宋志伟田毅
一种纳米压印模板及其制备方法和应用
本发明涉及一种纳米压印模板及其制备方法和应用，所述纳米压印模板包括依次层叠设置的硬质承载背板、弹性层和硬质模板层；所述硬质模板层包括至少两个互不接触的压印模块，所述压印模块包括层叠设置的第一模板层和第二模板层，所述第二模...
陈佩佩褚卫国田毅黄辉徐丽华徐陶然
一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置
本发明提供一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置。其中，该方法包括：预先确定硅衬底、介质膜以及金属膜组成的第三体系，并利用光谱椭偏仪测量所述第三体系中金属膜的椭偏参量；根据所述第三体系中金属膜的椭偏参量的特征峰出现...
赵乐褚卫国闫兰琴宋志伟董凤良陈佩佩田毅胡海峰徐丽华
一种表面增强拉曼散射基底
本发明涉及一种表面增强拉曼散射基底，所述表面增强拉曼散射基底包括衬底，设置于衬底一侧表面的墙阵列，以及设置于墙阵列表面的等离子体共振纳米结构层；所述墙阵列包括平面介质格栅，以及覆盖所述平面介质格栅与衬底表面的金属膜层。本...
田毅褚卫国陈佩佩胡海峰
文献传递
一种表面增强拉曼衬底及其制备方法
本发明涉及纳米材料技术领域，涉及一种金属/介电材料复合的纳米阵列结构及其制作方法，特别涉及一种表面增强拉曼衬底及其制备方法，所述拉曼衬底是由金属和介电材料组成的纳米阵列结构，所述纳米阵列结构的线宽为10‑25nm。本发明...
陈佩佩褚卫国田毅闫兰琴
文献传递
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