虞慧娴
- 作品数：33 被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺理学自动化与计算机技术更多>>
- 红外探测器用碲锌镉晶体材料的合成技术研究
- 碲锌镉晶体是研制碲镉汞红外焦平面探测器所需的衬底材料，其制备技术由源材料合成、晶体生长、衬底加工和测试评价四个部分组成。本文针对合成工艺中的放热过程和合成料化学计量比的控制方法进行了研究。实验使用可视监控系统观测了碲锌镉...
- 徐超周昌鹤孙士文虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲锌镉衬底红外
- 一种利用温度梯度合成碲锌镉多晶的合成装置
- 本专利公开了一种利用温度梯度合成碲锌镉多晶的合成装置。本合成装置包括加热氧化铝炉膛，内衬炉膛，控温系统，反应器皿，且可以进行两段独立或联合升降温。所述方法通过改变高温区和低温区的温场分布来实现温度梯度的调控，通过改变晶料...
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- 文献传递
- 一种无蜡磨抛碲锌镉晶片的方法
- 本发明公开了一种无蜡磨抛碲锌镉晶片的方法，首先设计制作磨抛夹具转接盘，将转接盘水平放置在磨抛夹具吸附平面上，再将晶片放置在转接盘的中央以覆盖转接盘上的所有真空导流小孔。然后，将研磨夹具与真空发生器相连接，晶片被吸附固定。...
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- 采用红外透射显微镜测量碲锌镉材料非晶相缺陷的面密度
- 根据非晶相缺陷在红外透射显微镜中的几何成像原理,当缺陷图像的灰度一定时,其离焦距离与缺陷尺寸的比值只与显微镜的数值孔径相关。因此,只要测量出特定灰度范围内的缺陷数量,即可求出碲锌镉晶体材料中位于焦面附近的缺陷面密度。实验...
- 周昌鹤孙士文虞慧娴周梅华杨建荣
- 关键词：碲锌镉面密度
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- 红外探测器用碲锌镉晶体材料的合成技术研究
- 碲锌镉晶体是研制碲镉汞红外焦平面探测器所需的衬底材料,其制备技术由源材料合成、晶体生长、衬底加工和测试评价四个部分组成。本文针对合成工艺中的放热过程和合成料化学计量比的控制方法进行了研究。实验使用可视监控系统观测了碲锌镉...
- 徐超周昌鹤孙士文虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲锌镉衬底红外
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- 50mm×50mm高性能HgCdTe液相外延材料的批生产技术被引量：11
- 2017年
- 采用富碲垂直液相外延技术实现了50 mm×50 mm×3高性能碲镉汞外延材料的制备.外延工艺的样品架采用了三角柱体结构,并设计了防衬底背面粘液的样品夹具.为保证大面积材料的均匀性,工艺中加强了对母液温度均匀性和组分均匀性的控制,50 mm×50 mm外延材料的组分均方差达到了0.000 4,厚度均方差达到了0.4μm.在批量生产技术中,加强了对单轮次生长环境的均匀性和生长轮次之间生长条件一致性的控制,同一轮次生长的3片材料之间的组分偏差小于0.000 4,厚度偏差小于0.1μm,不同生长轮次之间材料的组分之间的波动在±0.002左右,厚度之间的波动在±2μm左右.工艺中对碲锌镉衬底的Zn组分、缺陷尺寸和缺陷密度也加强了控制,以控制大面积外延材料的缺陷,晶体双晶衍射半峰宽(FWHM)小于30弧秒,外延材料的位错密度小于1×105cm^(-2),表面缺陷密度小于5 cm^(-2).外延材料经过热处理后,汞空位型的P型Hg0.78Cd0.22Te外延材料77 K温度下的载流子浓度被控制在8~20×1015cm-3,空穴迁移率大于600 cm2/Vs.材料整体性能和批生产能力已能满足大规模碲镉汞红外焦平面探测器的研制需求.
- 孙权志孙瑞赟魏彦锋孙士文周昌鹤徐超虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲镉汞液相外延大尺寸高性能
- 一种快速揭示碲锌镉晶体各类缺陷的方法
- 本发明公开了一种快速揭示碲锌镉晶体各类缺陷的方法，该方法先使用体积分数为3％-5％的溴甲醇溶液，对单晶材料(111)B面进行30-60分钟的化学减薄，去除材料加工损伤层，获得表面光亮平整的样品。再使用Everson腐蚀液...
- 虞慧娴沈灏王云陆丞周梅华孙士文杨建荣周昌鹤徐超
- 文献传递
- 碲锌镉衬底研究进展
- 碲锌镉是制备碲镉汞红外焦平面探测器的一种理想衬底材料。本文介绍了上海技术物理研究所在碲锌镉衬底研制方面的最新进展。采用垂直布里奇曼法实现了Ф90mm单晶的常规生长,可以小批量制备50×50 mm~2衬底。成功试验生长了Ф...
- 孙士文周昌鹤徐超虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲锌镉CDZNTEEPD夹杂
- 文献传递
- X射线衍射形貌术在碲锌镉晶体中的应用被引量：3
- 2014年
- 碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地整体研究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法。本文将反射式X射线衍射形貌术应用于碲锌镉晶体质量的评价,研究了入射线狭缝宽度、积分时间、扫描步长等测试参数以及样品表面加工状态对X射线衍射形貌的影响。结果表明入射线狭缝宽度对碲锌镉晶体的X射线衍射成像及晶体质量筛选应用影响很大,积分时间、样品扫描步长等测试参数的选择与入射线狭缝宽度密切相关。
- 孙士文隋淞印何力周昌鹤虞慧娴徐超
- 关键词：碲锌镉晶体缺陷
- 碲锌镉衬底研究进展
- 碲锌镉是制备碲镉汞红外焦平面探测器的一种理想衬底材料。本文介绍了上海技术物理研究所在碲锌镉衬底研制方面的最新进展。采用垂直布里奇曼法实现了Φ90mm单晶的常规生长，可以小批量制备50×50mm2衬底。成功试验生...
- 孙士文周昌鹤徐超虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲锌镉CDZNTEEPD夹杂
