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毕凯峰

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇碳化硅
  • 2篇碳化硅薄膜
  • 2篇微机械
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇光电
  • 2篇光电子
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇硅基
  • 2篇高导电
  • 2篇薄膜晶体
  • 1篇电池
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇碳化硅基
  • 1篇气相
  • 1篇气相沉积
  • 1篇气相沉积法
  • 1篇全硅
  • 1篇热丝

机构

  • 3篇大连理工大学

作者

  • 3篇毕凯峰
  • 2篇边继明
  • 2篇刘维峰
  • 2篇张志坤
  • 2篇秦福文
  • 2篇刘艳红

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种β－碳化硅薄膜的制备方法
本发明涉及半导体材料技术领域，公开了一种β－碳化硅薄膜的制备方法，以硅烷作为硅源，氢气作为硅源稀释气体和载气，以石墨作为衬底和碳源，采用热丝化学气相沉积法在石墨衬底上制备β－碳化硅薄膜，制备好的β－碳化硅薄膜在惰性气体下...
边继明张志坤毕凯峰刘艳红刘维峰秦福文
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硅基薄膜在新型器件中的应用
硅基薄膜具有制备成本低，工艺成熟、易集成、无毒，衬底选择性多等特点，已经成为工业生产的一个重要部分，在信息、能源等产业中正起着无可替代的作用，在集成电路，太阳能电池，光电探测器等方面有广泛的应用。本论文研究内容包括二部分...
毕凯峰
关键词：硅基薄膜热丝化学气相沉积纳米晶
文献传递
一种β-碳化硅薄膜的制备方法
本发明涉及半导体材料技术领域，公开了一种β－碳化硅薄膜的制备方法，以硅烷作为硅源，氢气作为硅源稀释气体和载气，以石墨作为衬底和碳源，采用热丝化学气相沉积法在石墨衬底上制备β－碳化硅薄膜，制备好的β－碳化硅薄膜在惰性气体下...
边继明张志坤毕凯峰刘艳红刘维峰秦福文
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