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徐作冬

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学技术大学更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇衍射
  • 4篇衍射光学
  • 4篇衍射光学元件
  • 4篇刻蚀
  • 4篇刻蚀深度
  • 4篇光学
  • 4篇光学元件
  • 3篇扫描式
  • 3篇离子束
  • 2篇在线检测
  • 2篇离子束刻蚀
  • 2篇面阵
  • 2篇光学平面
  • 1篇等厚干涉

机构

  • 4篇中国科学技术...

作者

  • 4篇徐作冬
  • 3篇徐向东
  • 3篇刘颖
  • 3篇徐德权
  • 3篇付绍军
  • 2篇洪义麟

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2011
  • 3篇2008
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测被引量：1
2008年
基于楔形光学平板的等厚干涉原理,提出了一种透射衍射光学元件扫描离子束刻蚀深度的在线检测方法,用一块与被刻蚀光学元件材料相同的楔形薄片作为陪片,在刻蚀过程中将其遮挡一半,利用陪片等厚条纹的错位去测量其刻蚀深度,从而间接检测出被刻蚀光学元件的刻蚀深度。在KZ-400大型离子束刻蚀装置上建立了这种在线检测装置。多次实验表明,在线检测结果同台阶仪的测量结果基本吻合,二者相差不超过10 nm。本检测方法能够可靠、准确地用来确定刻蚀终点,已经成功应用于位相型Ronchi光栅等大口径位相衍射光学元件的刻蚀制作。本方法还可以用于对其他透明材料的微结构进行扫描刻蚀深度在线检测。
徐作冬刘颖徐向东徐德权付绍军
关键词：刻蚀深度在线检测等厚干涉衍射光学元件
衍射光学元件的扫描式离子束刻蚀深度在线检测
近年来，随着一些包含光学系统的大型科学工程的发展，大口径衍射光学元件的应用越来越广泛，需求量也在增加。在大口径衍射光学元件的制作流程中，一般需要采用扫描式离子束刻蚀工艺。而对于扫描式离子束刻蚀过程，目前尚缺乏在线的刻蚀深...
徐作冬
关键词：衍射光学元件刻蚀深度在线检测
文献传递
具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置
本发明涉及具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置。解决了现有装置无法实现刻蚀深度在线检测的问题。通过对原有的扫描式离子束刻蚀装置的改进，在真空室内的平移工作台一侧设陪片；在离子束阑上设石墨挡板；平移工作台和观...
徐作冬刘颖徐向东徐德权洪义麟付绍军
文献传递
具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置
本发明涉及具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置。解决了现有装置无法实现刻蚀深度在线检测的问题。通过对原有的扫描式离子束刻蚀装置的改进，在真空室内的平移工作台一侧设陪片；在离子束阑上设石墨挡板；平移工作台和观...
徐作冬刘颖徐向东徐德权洪义麟付绍军
文献传递
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