洪义麟
- 作品数：186 被引量：402H指数：11
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学一般工业技术更多>>
- 硅的离子束抛光技术研究被引量：3
- 1995年
- 介绍了用离子束抛光法获得硅的超光滑表面的方法，并给出了不同抛光条件下表面粗糙度的原子力显微镜（AFM）测量结果，其中最好的表面粗糙度达0.12nm（有效值）。
- 洪义麟付绍军陶晓明黄文浩褚家如L.MonicaA.M.Baro
- 关键词：硅超光滑表面硅表面
- 米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制
- 2017年
- 弯月面化学涂膜技术因其具有大面积、低成本以及高效率等优势成为继旋涂、喷涂等传统涂膜工艺后极具发展潜力的新型化学薄膜涂覆技术。本文针对国家某重大项目对米级光学元件表面的化学薄膜涂覆需求,对基于弯月面涂胶的技术原理进行了系统研究,分析了涂胶压强、基片和狭缝间距以及材料亲疏水性与涂胶面形态的关系,实现了对弯月液面的精密调控并研制出基于弯月面化学薄膜涂覆技术的装备,在1 400mm×420mm尺寸玻璃基片上实现了光刻胶的均匀涂覆,使整体胶膜厚度误差<4%,满足了米级元件表面精密化学薄膜的涂覆需求。
- 徐佳许文斌卜和阳卢振武刘正坤洪义麟鱼卫星
- 关键词：弯月面涂胶光学元件
- 全息离子束刻蚀衍射光栅制作
- 本文着重介绍真空紫外闪耀光栅、软X射线Laminar光栅和软X射线自支撑透射光栅的全息离子束刻蚀制作技术,给出相应的研制结果.
- 徐向东洪义麟刘颖傅绍军
- 关键词：全息光刻离子束刻蚀衍射光栅
- 文献传递
- X射线毛细管及其应用被引量：7
- 1999年
- 介绍了Ｘ射线毛细管光学元件的原理、特征和类型及其在蛋白质晶体学、微束衍射、微束光谱等方面应用新进展．
- 徐向东洪义麟付绍军张允武
- 关键词：X射线衍射毛细管光学元件
- 一种凹面变线距光栅的制备方法及制备系统
- 本申请公开了一种凹面变线距光栅的制备方法及制备系统，该制备方法包括：基于初始曝光参数，对第一基底表面上的第一光刻胶层进行曝光和显影，以形成第一光刻胶光栅；检测得到第一光刻胶光栅聚焦的光斑；当第一光刻胶光栅聚焦的光斑不满足...
- 任涛邱克强刘正坤徐向东洪义麟付绍军
- X射线全息衍射光栅分束器
- 本发明涉及X射线全息衍射光栅分束器。解决了全息光刻方法制作线密度小于100线/mm光栅很不方便的问题。本发明分束器包括光栅基片，光栅基片一侧面上设有工作光栅和调试光栅，调试光栅的栅线包含着工作光栅的栅线，且两者栅线平行，...
- 刘颖谭鑫徐向东洪义麟付绍军
- 文献传递
- 漯河电子直线加速器控制系统
- 中国科技大学国家同步辐射实验室制造加工的8MeV 电子直线加速器已于2004 年10 月下旬在漯河进行总装调试，2004 年11 月4 日出束，用于食品杀菌与保鲜等用途。本文从硬件组成及软件设计等方面介绍这台加速器控制系...
- 宣科王相綦刘功发王季刚裴元吉李为民周银贵洪义麟许炳尚雷
- 关键词：电子直线加速器可编程控制器控制系统软件设计
- 文献传递
- 一种等离子体刻蚀装置及其扩散装置
- 本发明公开了一种等离子体扩散装置，其特征在于，包括：中空的端口放大装置(1)，所述端口放大装置(1)的进口端用于与等离子体源输出端密封连接，所述端口放大装置(1)的进口的面积小于出口的面积；栅栏(5)，所述栅栏(5)安装...
- 周腾邱克强刘正坤徐向东洪义麟付绍军
- 文献传递
- 软X射线直线单色仪光场分布实验研究被引量：2
- 2000年
- 合肥国家同步辐射光源软X射线直线单色仪配备三种不同参数的波带片和针孔光阑 ,通过调节波带片和针孔光阑间的距离可输出 1.97— 5 .44nm波段的软X射线 .利用高分辨正性光刻胶 ,记录了CZP32 和 30 μm针孔光阑组合下的准确聚焦和大离焦量时的软X射线衍射图 ,即直线单色仪输出的光场分布 .获得了有关爱里斑及空间相干半径等实验数据 。
- 徐向东周洪军洪义麟霍同林陶晓明傅绍军
- 关键词：软X射线
- 一种用于强激光系统中光束采样光栅的增透减反方法
- 一种用于强激光系统中光束采样光栅的增透减反方法，首先利用全息离子束刻蚀方法在熔石英基底上制作亚波长光栅模板；在亚波长光栅模板上滴少许PUA紫外压印胶，然后将PET薄膜盖到PUA上，利用紫外光照射PUA使其固化，将固化后的...
- 陈火耀刘颖梁举曦王宇刘正坤邱克强徐向东洪义麟付绍军
- 文献传递
