张劲松
- 作品数：2 被引量：10H指数：1
- 供职机构：中国科学院等离子体物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术核科学技术更多>>
- HT-6M外差式毫米波反射仪的研制被引量：1
- 2000年
- 报道了用于测量核聚变等离子体密度的毫米波反射仪 ,实验表明其空间分辨能力 :横向绝对分辨率 ΔRp=0 .7cm ,相对分辨率δRp=1.0 8% ,纵向绝对分辨率ΔLt=0 .832 cm,相对分辨率δLt=0 .943% ,时间分辨率～ 10μs,测量灵敏度为 Δγc=0 .79cm,相对测量灵敏度 δγc=1.2 2 % ,能满足实验要求 .
- 张劲松范叔平罗家融曹永军
- 关键词：毫米波聚变等离子体
- ECR-PECVD制备SiO_2薄膜中衬底射频偏压的作用被引量：9
- 2001年
- 采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 (ECR PECVD)技术在单晶衬底上制备了SiO2 薄膜 ,研究了射频偏压对薄膜特性的影响。通过X射线光电子能谱 (XPS)、傅里叶变换红外线光谱 (FTIR)、原子力显微镜 (AFM)和扫描隧道显微镜 (STM)三维形貌图测量等手段 ,对成膜特性进行了分析。实验结果表明 ,通过改变射频偏压的参数来控制离子轰击能量 ,对ECR PECVD成膜的内应力、溅射现象。
- 张劲松任兆杏梁荣庆隋毅峰刘卫
- 关键词：SIO2薄膜ECR-PECVD二氧化硅薄膜成膜特性
