刘卫
- 作品数：2 被引量：15H指数：2
- 供职机构：中国科学院等离子体物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术核科学技术更多>>
- 热等离子体对模拟有机低放射性废物固化处理试验分析被引量：6
- 2013年
- 低水平放射性废物(LLRW)的安全有效处理是世界各国关注的一大难题,传统的水泥固化技术存在增容增重等缺点,为此采用了直流电弧等离子体处理模拟有机LLRW,并通过添加玻璃形成剂捕集和固化放射性核素。对放射性核素的捕集特性进行了研究,并表征了玻璃固化体的性能。结果表明,经热等离子体处理后得到的玻璃固化体表面非常光滑,具有无定形、蓝色、致密结构。在热等离子体高温处理条件下,温度对放射性核素的捕集影响不大;LLRW中有机氯的质量分数对Co和Cs的捕集影响显著,其含量越高越不利于Co和Cs的捕集,而对Sr捕集影响不大;在有机氯质量分数为5.45%、处理温度为1 400°C条件下,模拟放射性核素Sr、Co、Cs的捕集率分别达到了99.7%、44.5%和18.6%。
- 江贻满倪国华宋晔赵鹏刘卫孟月东
- 关键词：热等离子体玻璃固化放射性核素有机氯
- ECR-PECVD制备SiO_2薄膜中衬底射频偏压的作用被引量：9
- 2001年
- 采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 (ECR PECVD)技术在单晶衬底上制备了SiO2 薄膜 ,研究了射频偏压对薄膜特性的影响。通过X射线光电子能谱 (XPS)、傅里叶变换红外线光谱 (FTIR)、原子力显微镜 (AFM)和扫描隧道显微镜 (STM)三维形貌图测量等手段 ,对成膜特性进行了分析。实验结果表明 ,通过改变射频偏压的参数来控制离子轰击能量 ,对ECR PECVD成膜的内应力、溅射现象。
- 张劲松任兆杏梁荣庆隋毅峰刘卫
- 关键词：SIO2薄膜ECR-PECVD二氧化硅薄膜成膜特性
