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王晓晔

作品数：3 被引量：16H指数：3
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇力传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元法
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械加工
  • 1篇微系统
  • 1篇微装配
  • 1篇显微镜
  • 1篇结构优化
  • 1篇MEMS

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇李庆祥
  • 3篇薛实福
  • 3篇王晓晔
  • 2篇于水
  • 2篇徐毓娴
  • 1篇刘永生
  • 1篇白立芬
  • 1篇龙志峰
  • 1篇李云平

传媒

  • 3篇光学精密工程

年份

  • 1篇1998
  • 2篇1997
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究被引量：3
1997年
分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约５０ｎｍ。制定了适于批量生产的ＡＦＭ力传感器加工工艺。
薛实福徐毓娴李庆祥王晓晔刘永生于水
关键词：微机械加工显微镜力传感器
用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究被引量：3
1998年
应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构，并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。
王晓晔薛实福李庆祥徐毓娴白立芬于水
关键词：有限元原子力显微镜力传感器结构优化
微器件装配系统与关键技术被引量：10
1997年
微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。
李云平龙志峰李庆祥王晓晔薛实福
关键词：微系统微装配MEMS
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共1页<1>
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