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李云平

作品数：2 被引量：10H指数：1
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 1篇低速爬行
  • 1篇死区
  • 1篇伺服
  • 1篇伺服控制
  • 1篇微系统
  • 1篇微装配
  • 1篇精密工作台
  • 1篇PWM
  • 1篇MEMS

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇李庆祥
  • 2篇李云平
  • 1篇薛实福
  • 1篇白立芬
  • 1篇龙志峰
  • 1篇王晓晔
  • 1篇于水

传媒

  • 1篇光学精密工程
  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1997
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微器件装配系统与关键技术被引量：10
1997年
微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。
李云平龙志峰李庆祥王晓晔薛实福
关键词：微系统微装配MEMS
精密工作台伺服控制系统研究
2000年
随着精密工作台运动速度和精度的进一步提高，对工作台的控制系统的要求也越来越高。本文针对微器件装配系统中粗动精密工作台的控制，研究了直流力矩电机的脉宽调制(PWM)驱动方法，控制系统通过引入速度和电枢电压负反馈，较好地解决了精密工作台低速爬行、死区和机械谐振等问题，满足了系统对运动快速性、低速平衡性和高精度的要求，最高调速比可达1294，工作台重复精度达±1μm。
白立芬于水李庆祥李云平
关键词：精密工作台PWM低速爬行死区
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共1页<1>
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